[發(fā)明專利]一種量子效率的測試方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611220983.5
• 申請日: 2016-12-26
• 公開（公告）號: CN106596069B
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊永強;李俊霖;劉楠;唐延甫
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 11227 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 王寶筠<國際申請>=<國際公布>=<進入

本發(fā)明提供了一種量子效率的測試方法，所述測試方法包括：在單色儀的入光口設(shè)置光源；在所述單色儀的出光口設(shè)置光功率計，且所述光功率計完全接收所述單色儀的出射光；待測感光器件設(shè)置在位移裝置上；其中，所述光功率計在設(shè)定位置獲取所述設(shè)定位置的光功率，且通過勻速驅(qū)動所述位移裝置在設(shè)定時間內(nèi)使所述待測感光器件全部接受所述單色儀的出射光進行成像；獲取所述待測感光器件成像后的圖像灰度值，依據(jù)所述圖像灰度值及所述光功率，獲得所述待測感光器件的量子效率。該測試方法對待測感光器件的量子效率的測試結(jié)果精確度高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電子學測量方法技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種量子效率的測試方法。

背景技術(shù)

隨著科學技術(shù)的不斷發(fā)展，在圖像采集、超光譜成像、粒子成像測速、快速移動目標的追蹤與定位等應用中都需要高分辨率、高靈敏度的感光器件，如CCD傳感器，CMOS傳感器。為了滿足工作使用要求，對感光器件的量子效率該特征有很高的要求，且對感光器件的量子效率的重復測試精度需小于3％。

現(xiàn)有技術(shù)量子效率的測試方法為積分球測試法，該積分球測試方法通過單色儀從光源處分光獲得具有一定半峰寬的單色光，并入射至積分球，經(jīng)過積分球進行均化處理得到均勻的面光源，再通過光功率計測試得出距離積分球某一位置的光功率，將待測感光器件放置至該位置進行曝光成像，得到相應光強下的灰度值，將該位置的光功率及該灰度值帶入算法公式，進而得出待測感光器件在不同波長下的量子效率。

但是，由于積分球出射光的出射角度很大，且光強會隨著距離的增長而遞減，為了提高積分球出射光的光能量，需要使單色儀出射光的半峰寬增大，進而導致測試分辨率很低，測試誤差大。并且，在測試過程中光功率計的測試位置與待測感光器件的測試位置，由于通過人工擺放會存在一定的誤差，使對待測感光器件重復性測試結(jié)果誤差大，且由于存在人為因素的影響也會使測試結(jié)果誤差大。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種量子效率的測試方法，該測試方法可以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，感光器件量子效率的測試結(jié)果精確度高。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種量子效率的測試方法，用于測試感光器件的量子效率，所述測試方法包括：

在單色儀的入光口設(shè)置光源；

在所述單色儀的出光口設(shè)置光功率計，且所述光功率計完全接收所述單色儀的出射光；

待測感光器件設(shè)置在位移裝置上；

其中，所述光功率計在設(shè)定位置獲取所述設(shè)定位置的光功率，且驅(qū)動所述位移裝置在設(shè)定時間內(nèi)使所述待測感光器件全部接受所述單色儀的出射光進行成像；

獲取所述待測感光器件成像后的圖像灰度值，依據(jù)所述圖像灰度值及所述光功率，獲得所述待測感光器件的量子效率。

優(yōu)選的，在上述測試方法中，所述光源、所述單色儀、所述光功率計及所述位移裝置設(shè)置在空氣隔振平臺裝置上。

優(yōu)選的，在上述測試方法中，所述驅(qū)動所述位移裝置在設(shè)定時間內(nèi)使所述待測感光器件全部接受所述單色儀的出射光進行成像包括：

在設(shè)定時間內(nèi)，通過勻速驅(qū)動所述位移裝置使所述待測感光器件全部接受所述單色儀的出射光，進行成像。

優(yōu)選的，在上述測試方法中，所述光源為濱松氘燈源或賽凡鹵鎢燈源。

優(yōu)選的，在上述測試方法中，所述單色儀為Newport CornerstoneTM260單色儀。

優(yōu)選的，在上述測試方法中，所述光功率計為Newport 1936-R光功率計。

優(yōu)選的，在上述測試方法中，所述位移裝置為Newport UTS100CC位移裝置。