[發明專利]一種烘干設備

在審

• 申請號: 201611219715.1
• 申請日: 2016-12-26
• 公開（公告）號: CN108240740A
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發明（設計）人: 趙佳彬;楊來寶;李補忠;鄭建宇
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B21/02;F26B23/00;F26B25/06
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 湯財寶

本發明涉及光伏硅片制造技術領域，尤其涉及一種烘干設備，包括槽體、加熱控溫組件、風機組件和硅片籃支撐件，槽體設置于清洗設備內，加熱溫控組件設置于槽體的內側壁上，風機組件與硅片籃支撐件均設置于槽體內，硅片籃支撐件上放置硅片籃，風機組件的出風口位于硅片籃支撐件的下方，以將氣流吹向硅片籃，槽體內還設有風道，風機組件的進風口與風道連通，以將氣流吸入風機組件。本發明是將槽體集成到清洗設備中，硅片在清洗設備中完成清洗后，由機械臂將硅片籃取出放于本發明烘干設備的硅片籃支撐件上，實現干進干出自動化，替代了現有技術的甩干機，節約設備采購及人工成本，減少生產成本投入，同時增大了設備產能，能夠滿足更大的產線容量要求。

技術領域

本發明涉及光伏硅片制造技術領域，尤其涉及一種烘干設備。

背景技術

利用太陽能的最佳方式是光伏轉換，就是利用光伏效應，使太陽光射到硅材料上產生電流直接發電。以硅材料的應用開發形成的光電轉換產業鏈條稱之為“光伏產業”，包括高純多晶硅原材料生產、太陽能電池生產、太陽能電池組件生產、相關生產設備的制造等。目前在光伏硅片制造中，硅片或硅塊要進行清洗脫膠，在清洗后的干燥過程中通常采用甩干機通過離心將硅片或硅塊表面水分甩干，但常用的甩干機為較大型的獨立設備，需將硅片由清洗設備中取出，人工放入甩干機中，由此會極大的降低生產產能，增加人工成本，影響生產生產效率。

發明內容

(一)要解決的技術問題

本發明要解決的技術問題是解決現有的光伏硅片生產中甩干機與清洗設備各自獨立設置，設備集成度較低，甩干機的使用成本高，產能低，影響硅片生產效率的問題。

(二)技術方案

為了解決上述技術問題，本發明提供了一種烘干設備，包括槽體、加熱控溫組件、風機組件和硅片籃支撐件，所述槽體設置于清洗設備內，所述加熱溫控組件設置于所述槽體的內側壁上，所述風機組件與所述硅片籃支撐件均設置于所述槽體內，所述硅片籃支撐件上放置硅片籃，所述風機組件的出風口位于所述硅片籃支撐件的下方，以將氣流吹向所述硅片籃，所述槽體內還設有風道，所述風機組件的進風口與所述風道連通，以將氣流吸入所述風機組件。

其中，所述風道靠近所述加熱控溫組件設置。

其中，所述風機組件包括風機和導流板，所述風機的出風口位于所述硅片籃支撐件的下方，所述導流板與安裝所述加熱控溫組件的所述槽體的內側壁構成所述風道。

其中，所述導流板包括主導流板和副導流板，所述主導流板為與所述槽體配合的槽狀，所述主導流板的底部通過立柱與所述槽體的底壁連接固定，且與所述風機的出風口連通，所述副導流板一端與所述槽體的側內壁連接，另一端向所述硅片籃傾斜與所述主導流板的端部形成所述風道的進風口，所述硅片籃支撐件的兩端與所述主導流板的兩側連接。

其中，所述風機為軸流風機。

其中，所述硅片籃支撐件為具有多個均勻分布的通孔的均流板。

其中，所述加熱控溫組件包括加熱管和溫控表，多根所述加熱管相互平行且水平設置，所述加熱管的兩端與所述槽體的內側壁連接，所述溫控表用于檢測所述槽體內的環境溫度。

其中，所述槽體底部設有排放口。

其中，所述槽體由噴涂ETFE的不銹鋼材料制作。

(三)有益效果