[發明專利]基于柔性制造工藝的高壓平面開關結構及其制備方法

有效

• 申請號: 201611219449.2
• 申請日: 2016-12-26
• 公開（公告）號: CN106783391B
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 呂軍軍;王萬軍;付秋波;郭菲
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院化工材料研究所
• 主分類號: H01H39/00
• 分類號: H01H39/00
• 代理公司: 四川省成都市天策商標專利事務所 51213
• 代理人: 秦華云

1.高壓平面開關結構的制備方法，其特征在于：其制備方法如下：

A、制備正電極板：采用聚酰亞胺材料制造出正極板絕緣襯底(11)，并在正極板絕緣襯底(11)上表面覆蓋一層銅箔形成覆銅膜，然后對該覆銅膜進行曝光、顯影、蝕刻工藝處理得到正電極(12)；

B、制備負電極板：采用聚酰亞胺材料制造出負極板絕緣襯底(21)，并在負極板絕緣襯底(21)上表面覆蓋一層銅箔形成覆銅膜，然后對該覆銅膜進行曝光、顯影、蝕刻工藝處理得到負電極(22)；

C、制備信號輸入極板：采用聚酰亞胺材料制造出爆炸箔絕緣襯底(31)，并在爆炸箔絕緣襯底(31)上表面覆蓋兩處銅箔形成兩處覆銅膜，然后對兩處覆銅膜分別進行曝光、顯影、蝕刻工藝處理得到爆炸箔正電極(32)和爆炸箔負電極(33)；

D、采用層壓鍵合工藝將負電極板(2)、信號輸入極板(3)、正電極板(1)依次上下壓合在一起，并最終得到高壓平面開關結構；此時，正電極板(1)的正電極(12)與負電極板(2)的負電極(22)在空間位置上存在交叉部分(4)，并且正電極板(1)與負電極板(2)之間通過絕緣襯底隔開，所述爆炸箔正電極(32)與爆炸箔負電極(33)之間的連線經過該交叉部分(4)；

所述高壓平面開關結構，包括正電極板(1)、負電極板(2)和信號輸入極板(3)，所述正電極板(1)包括正極板絕緣襯底(11)和設置于正極板絕緣襯底(11)上的正電極(12)，所述負電極板(2)包括負極板絕緣襯底(21)和設置于負極板絕緣襯底(21)上的負電極(22)，所述信號輸入極板(3)包括爆炸箔絕緣襯底(31)和設置于爆炸箔絕緣襯底(31)上的爆炸箔正電極(32)、爆炸箔負電極(33)，所述爆炸箔正電極(32)、爆炸箔負電極(33)對應設置；所述負電極板(2)、信號輸入極板(3)、正電極板(1)對應上下層壓構成高壓平面開關結構，所述正電極板(1)的正電極(12)與負電極板(2)的負電極(22)在空間位置上存在交叉部分(4)，并且正電極板(1)與負電極板(2)之間通過絕緣襯底隔開，所述爆炸箔正電極(32)與爆炸箔負電極(33)之間的連線經過該交叉部分(4)；所述正極板絕緣襯底(11)、負極板絕緣襯底(21)、爆炸箔絕緣襯底(31)均由聚酰亞胺材料制造而成，所述正電極(12)、負電極(22)、爆炸箔正電極(32)、爆炸箔負電極(33)均為銅箔材料制造出的覆銅膜；所述爆炸箔正電極(32)與爆炸箔負電極(33)通過導電材料電連接，該導電材料在空間位置上經過該交叉部分(4)；所述負電極板(2)對應爆炸箔正電極(32)開有缺口(23)，所述負電極板(2)對應爆炸箔負電極(33)開有缺口(23)；所述正電極板(1)整體呈長方形，所述正電極(12)整體呈長方形；所述負電極板(2)為與正電極板(1)相對應的長方形狀，所述負電極(22)整體呈長方形；所述信號輸入極板(3)為與正電極板(1)相對應的長方形狀；所述負電極板(2)、信號輸入極板(3)、正電極板(1)采用層壓鍵合方式依次上下壓合構成高壓平面開關結構，高壓平面開關結構的交叉部分(4)呈長方形或正方形。