[發明專利]一種具有晶圓偵測功能的爐管設備

有效

• 申請號: 201611218685.2
• 申請日: 2016-12-26
• 公開（公告）號: CN106783686B
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發明（設計）人: 趙慶;辛科;周詩鐸
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種具有晶圓偵測功能的爐管設備，其特征在于，包括晶舟、機械手臂、支架和偵測傳感器；

所述晶舟內設置有若干晶圓；

所述支架包括兩個支架臂和連接所述兩個支架臂的固定結構；

所述機械手臂包括設置有抓手的第一端和相對于所述第一端的第二端，所述固定結構可滑動地安裝于所述機械手臂臨近所述第二端的底部，所述兩個支架臂分別設置于所述機械手臂的兩側，且所述兩個支架臂伸展的方向與所述第二端的朝向相同；

所述偵測傳感器設置于所述兩個支架臂的端部，且當所述機械手臂空閑時，設置所述機械手臂的第二端朝向所述晶舟，以利用所述偵測傳感器對所述晶舟內的晶圓進行偵測。

2.如權利要求1所述的具有晶圓偵測功能的爐管設備，其特征在于，所述偵測傳感器為光纖傳感器。

3.如權利要求1所述的具有晶圓偵測功能的爐管設備，其特征在于，所述兩個支架臂和所述固定結構為一體式結構。

4.如權利要求1所述的具有晶圓偵測功能的爐管設備，其特征在于，所述兩個支架臂均為7字形結構，且所述偵測傳感器均設置于所述7字形結構水平部分的端部。

5.如權利要求1所述的具有晶圓偵測功能的爐管設備，其特征在于，所述固定結構包括一滑塊結構，所述機械手臂的底部設置有一與所述滑塊結構相適配的滑動平臺。

6.如權利要求5所述的具有晶圓偵測功能的爐管設備，其特征在于，當所述機械手臂對位于所述晶舟內的晶圓進行偵測時，所述滑塊結構滑至所述滑動平臺臨近所述第二端的盡頭處。

7.如權利要求5所述的具有晶圓偵測功能的爐管設備，其特征在于，當所述機械手臂對所述晶圓進行傳送時，設置所述機械手臂的第一端朝向所述晶舟，且所述滑塊結構滑至所述滑動平臺臨近所述第一端的盡頭處。

8.如權利要求5所述的具有晶圓偵測功能的爐管設備，其特征在于，所述滑動平臺的兩端均設置有鎖緊裝置。

9.如權利要求1所述的具有晶圓偵測功能的爐管設備，其特征在于，所述偵測傳感器包括發送端和接收端，且所述發送端和所述接收端分別設置于所述兩個支架臂的端部。

10.如權利要求1所述的具有晶圓偵測功能的爐管設備，其特征在于，所述支架的材質為金屬。