[發明專利]一種高精度溫控電阻測試系統

有效

• 申請號: 201611216969.8
• 申請日: 2016-12-26
• 公開（公告）號: CN106771619B
• 公開（公告）日: 2020-02-14
• 發明（設計）人: 康曉旭
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02;G01R35/02;G01J5/00
• 代理公司: 31275 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙)
• 代理人: 吳世華;陳慧弘

1.一種高精度溫控電阻測試系統，其特征在于，包括：

樣品平臺，用于放置測試樣品，所述樣品平臺設有導熱平面，所述導熱平面上具有熱分散平面，所述測試樣品置于熱分散平面上；

加熱器，設于樣品平臺下方，用于將樣品平臺上的測試樣品加熱至測試溫度；

紅外成像溫度探測器，用于測量測試樣品表面溫度；

探針，用于在測試樣品表面溫度達到測試溫度時，對所述測試樣品進行電阻測試；

可調溫度的標準黑體，與所述加熱器耦合為一體，作為所述測試樣品的加熱源，同時用于對所述紅外成像溫度探測器進行在線校準；

其中，通過在樣品平臺上設置具有熱分散平面的導熱平面，進一步加強導熱平面的溫度均勻性，使待測樣品得到均勻升溫，從而使測試精度得到進一步提升；并且，在進行溫度測試時，使用紅外成像溫度探測器實時監控樣品表面所有位置的溫度值，從而保證對樣品表面任意位置的測試精度。

2.根據權利要求1所述的高精度溫控電阻測試系統，其特征在于，所述導熱平面為金屬導熱層。

3.根據權利要求1所述的高精度溫控電阻測試系統，其特征在于，所述熱分散平面為石墨烯熱分散層。

4.根據權利要求1所述的高精度溫控電阻測試系統，其特征在于，所述導熱平面為銅導熱層，所述熱分散平面為在所述銅導熱層表面利用離子注入及高溫退火生成的石墨烯熱分散層。

5.根據權利要求1所述的高精度溫控電阻測試系統，其特征在于，通過將測試樣品的測試溫度至少分為低溫/中溫/高溫三個區域，并將可調溫度的標準黑體的溫度分別定義在所需測試的溫度區域范圍內的某一標準溫度，以通過所述紅外成像溫度探測器在對測試樣品表面溫度進行測量的同時，自身得到精確的在線校準。

6.根據權利要求1所述的高精度溫控電阻測試系統，其特征在于，還包括一控制模塊，用于收到所述紅外成像溫度探測器發出的測試樣品表面溫度達到測試溫度的信號時，控制所述探針移動至所述測試樣品表面指定位置并相接觸，以進行電阻測試。

7.根據權利要求1所述的高精度溫控電阻測試系統，其特征在于，還包括一測試腔室，用于將所述高精度溫控電阻測試系統封閉于其中進行所述測試樣品的電阻測試。

8.根據權利要求5所述的高精度溫控電阻測試系統，其特征在于，通過可調溫度的標準黑體將所述紅外成像溫度探測器在線校準至測量精度為±0.05℃時，再通過所述紅外成像溫度探測器測量測試樣品表面溫度。