[發(fā)明專利]一種高精度溫控電阻測試系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611216969.8
• 申請日: 2016-12-26
• 公開（公告）號: CN106771619B
• 公開（公告）日: 2020-02-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 康曉旭
• 申請（專利權(quán)）人: 上海集成電路研發(fā)中心有限公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02;G01R35/02;G01J5/00
• 代理公司: 31275 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙)
• 代理人: 吳世華;陳慧弘

1.一種高精度溫控電阻測試系統(tǒng)，其特征在于，包括：

樣品平臺，用于放置測試樣品，所述樣品平臺設(shè)有導(dǎo)熱平面，所述導(dǎo)熱平面上具有熱分散平面，所述測試樣品置于熱分散平面上；

加熱器，設(shè)于樣品平臺下方，用于將樣品平臺上的測試樣品加熱至測試溫度；

紅外成像溫度探測器，用于測量測試樣品表面溫度；

探針，用于在測試樣品表面溫度達(dá)到測試溫度時，對所述測試樣品進(jìn)行電阻測試；

可調(diào)溫度的標(biāo)準(zhǔn)黑體，與所述加熱器耦合為一體，作為所述測試樣品的加熱源，同時用于對所述紅外成像溫度探測器進(jìn)行在線校準(zhǔn)；

其中，通過在樣品平臺上設(shè)置具有熱分散平面的導(dǎo)熱平面，進(jìn)一步加強(qiáng)導(dǎo)熱平面的溫度均勻性，使待測樣品得到均勻升溫，從而使測試精度得到進(jìn)一步提升；并且，在進(jìn)行溫度測試時，使用紅外成像溫度探測器實時監(jiān)控樣品表面所有位置的溫度值，從而保證對樣品表面任意位置的測試精度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度溫控電阻測試系統(tǒng)，其特征在于，所述導(dǎo)熱平面為金屬導(dǎo)熱層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度溫控電阻測試系統(tǒng)，其特征在于，所述熱分散平面為石墨烯熱分散層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度溫控電阻測試系統(tǒng)，其特征在于，所述導(dǎo)熱平面為銅導(dǎo)熱層，所述熱分散平面為在所述銅導(dǎo)熱層表面利用離子注入及高溫退火生成的石墨烯熱分散層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度溫控電阻測試系統(tǒng)，其特征在于，通過將測試樣品的測試溫度至少分為低溫/中溫/高溫三個區(qū)域，并將可調(diào)溫度的標(biāo)準(zhǔn)黑體的溫度分別定義在所需測試的溫度區(qū)域范圍內(nèi)的某一標(biāo)準(zhǔn)溫度，以通過所述紅外成像溫度探測器在對測試樣品表面溫度進(jìn)行測量的同時，自身得到精確的在線校準(zhǔn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度溫控電阻測試系統(tǒng)，其特征在于，還包括一控制模塊，用于收到所述紅外成像溫度探測器發(fā)出的測試樣品表面溫度達(dá)到測試溫度的信號時，控制所述探針移動至所述測試樣品表面指定位置并相接觸，以進(jìn)行電阻測試。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度溫控電阻測試系統(tǒng)，其特征在于，還包括一測試腔室，用于將所述高精度溫控電阻測試系統(tǒng)封閉于其中進(jìn)行所述測試樣品的電阻測試。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高精度溫控電阻測試系統(tǒng)，其特征在于，通過可調(diào)溫度的標(biāo)準(zhǔn)黑體將所述紅外成像溫度探測器在線校準(zhǔn)至測量精度為±0.05℃時，再通過所述紅外成像溫度探測器測量測試樣品表面溫度。