[發(fā)明專利]一種用于晶圓的打點(diǎn)裝置及其控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611216205.9
• 申請日: 2016-12-26
• 公開（公告）號: CN106783685B
• 公開（公告）日: 2023-04-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳俊;袁志偉
• 申請（專利權(quán)）人: 珠海市中芯集成電路有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 珠海智專專利商標(biāo)代理有限公司 44262
• 代理人: 黃國豪

1.一種用于晶圓的打點(diǎn)裝置，其特征在于：

所述打點(diǎn)裝置包括X軸移動控制機(jī)構(gòu)、Y軸移動控制機(jī)構(gòu)和工作臺，所述工作臺用于承載晶圓；

所述X軸移動控制機(jī)構(gòu)控制所述工作臺沿X軸移動；

所述Y軸移動控制機(jī)構(gòu)控制所述工作臺沿Y軸移動；

所述打點(diǎn)裝置還包括支撐架和點(diǎn)墨機(jī)構(gòu)，所述支撐架位于所述工作臺的上方，所述支撐架上設(shè)置有多個工位；

所述點(diǎn)墨機(jī)構(gòu)包括固定組件和點(diǎn)墨組件，所述點(diǎn)墨組件對所述晶圓進(jìn)行標(biāo)記；

所述固定組件包括安裝件、第一連接件、第二連接件、第三連接件、第一螺釘、第二螺釘和第三螺釘；

所述安裝件安裝在所述工位上，所述安裝件的上方設(shè)置有第一螺紋孔，所述第一連接件的下方與所述安裝件的上方可移動地通過V形槽配合，所述第一螺釘與所述第一螺紋孔配合；

所述第一連接件的上方設(shè)置有第二螺紋孔，所述第二連接件的下方與所述第一連接件的上方可移動地通過V形槽配合，所述第二螺釘與所述第二螺紋孔配合；

所述第二連接件的側(cè)面設(shè)置有第三螺紋孔，所述第三連接件的側(cè)面與所述第二連接件的側(cè)面可移動地通過V形槽配合，所述第三螺釘與所述第三螺紋孔配合；

所述點(diǎn)墨組件可旋轉(zhuǎn)地連接至所述第三連接件；

所述點(diǎn)墨機(jī)構(gòu)的數(shù)量為至少兩個；

所述Y軸移動控制機(jī)構(gòu)包括第二絲桿和底座，所述第二絲桿可旋轉(zhuǎn)地安裝在所述底座上，所述X軸移動控制機(jī)構(gòu)的移動座與所述第二絲桿可移動地連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述打點(diǎn)裝置，其特征在于：

所述打點(diǎn)裝置還包括固定座，所述工作臺安裝在所述固定座上；

所述X軸移動控制機(jī)構(gòu)包括第一絲桿，所述第一絲桿可旋轉(zhuǎn)地安裝在所述移動座上，所述固定座與所述第一絲桿可移動地連接；

所述固定座的兩側(cè)下方設(shè)置有第一滑座，所述移動座的兩側(cè)上方設(shè)置有第一滑軌，所述第一滑座可移動地與所述第一滑軌配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述打點(diǎn)裝置，其特征在于：

所述移動座的兩側(cè)下方設(shè)置有第二滑座，所述底座的兩側(cè)上方設(shè)置有第二滑軌，所述第二滑座可移動地與所述第二滑軌配合。

4.打點(diǎn)裝置的控制方法，其特征在于：

所述打點(diǎn)裝置為權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的用于晶圓的打點(diǎn)裝置，所述控制方法包括調(diào)節(jié)步驟和打點(diǎn)步驟，所述調(diào)節(jié)步驟包括：

調(diào)節(jié)所述第一連接件在所述安裝件的上方移動，并使用所述第一螺釘鎖緊所述第一連接件；

調(diào)節(jié)所述第二連接件在所述第一連接件的上方移動，并使用所述第二螺釘鎖緊所述第二連接件；

調(diào)節(jié)所述第三連接件在所述第二連接件的側(cè)面上移動，并使用所述第三螺釘鎖緊所述第三連接件；

調(diào)節(jié)所述點(diǎn)墨組件的旋轉(zhuǎn)角度；

所述打點(diǎn)步驟包括：

通過所述X軸移動控制機(jī)構(gòu)控制所述工作臺沿X軸移動；

通過所述Y軸移動控制機(jī)構(gòu)控制所述工作臺沿Y軸移動；

控制所述點(diǎn)墨組件對所述晶圓進(jìn)行標(biāo)記。