[發(fā)明專利]一種硅片插片方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611213865.1
• 申請日: 2016-12-23
• 公開（公告）號: CN106784145B
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉榮文;褚玉寶
• 申請（專利權(quán)）人: 中贛新能源股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11246
• 代理人: 吳稱生

1.一種硅片插片方法，其特征在于：

步驟一、將花籃分為正放硅片的母花籃和反放硅片的公花籃，母花籃與公花籃外形大小一致，母花籃與公花籃豎直擺放時(shí)，母花籃的硅片槽與公花籃的硅片槽錯(cuò)位，母花籃內(nèi)正放50片硅片，公花籃內(nèi)反放50片硅片；

步驟二、將母花籃與公花籃豎立在推片裝置上，并且母花籃與公花籃開口側(cè)相對而放，利用推片裝置將公花籃內(nèi)的硅片推入母花籃內(nèi)，確認(rèn)絨面朝外，每個(gè)硅片槽內(nèi)放有2片硅片；

步驟三、將母花籃放平，并在母花籃底部墊設(shè)墊塊，墊塊將硅片托起至高出母花籃；

步驟四、作業(yè)人員手掌伸直，雙手掌心向內(nèi)，兩只手掌抵在硅片的兩側(cè)，每次從母花籃內(nèi)取出20片硅片，插入石英舟內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片方法，其特征在于：所述推片裝置包括底部平板(21)、中部箱體(22)和兩側(cè)的推片機(jī)構(gòu)，中部箱體(22)安裝底部平板(21)上，中部箱體(22)內(nèi)安裝中隔板(23)，在中隔板(23)和中部箱體(22)的前端板上安裝兩根導(dǎo)桿(24)，兩根導(dǎo)桿(24)上分別安裝滑塊(25)，兩個(gè)滑塊通過連板(26)連接在一起，連板(26)上安裝兩根垂直于連板平面的橫桿(28)，所述中部箱體(22)的兩側(cè)板上開設(shè)有供橫桿(28)運(yùn)動(dòng)的橫桿運(yùn)動(dòng)槽(27)，橫桿(28)的兩端分別固定推片機(jī)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片插片方法，其特征在于：所述花籃包括前壁板(11)、后壁板(12)、底板(14)、兩塊側(cè)板(13)，兩塊側(cè)板(13)通過螺絲固定在前壁板(11)和后壁板(12)之間，底部固定底板(14)，兩塊側(cè)板(13)上開設(shè)50個(gè)硅片槽(17)，硅片槽(17)的高度不小于20cm，硅片槽(17)的頂部開口較硅片槽主體寬，所述底板(14)的中間設(shè)有推片口(16)，前壁板(11)和后壁板(12)上設(shè)有提手口(15)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片插片方法，其特征在于：所述推片機(jī)構(gòu)包括與公花籃的推片口(16)配合的推片板(30)、橫板(31)、豎板(29)，橫板(31)與豎板(29)十字交叉，推片板(30)固定在橫板(31)和豎板(29)的前端，豎板(29)的后端與橫桿(28)通過螺母固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片插片方法，其特征在于：中部箱體22由硬質(zhì)有機(jī)玻璃板組裝而成，所述推片機(jī)構(gòu)采用硬質(zhì)有機(jī)玻璃板制成。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片插片方法，其特征在于：母花籃的硅片槽與公花籃的硅片槽錯(cuò)位距離為2mm，公花籃的單個(gè)硅片槽可只容納一塊硅片，母花籃的單個(gè)硅片槽可容納兩塊硅片。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片方法，其特征在于：所述墊塊是泡沫塑料墊，將母花籃內(nèi)100片硅片托出10cm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片方法，其特征在于：步驟四作業(yè)時(shí)，雙手戴防塵手套。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硅片插片方法，其特征在于：所述手套的掌心側(cè)，沿中指方向設(shè)置橡膠條，橡膠條設(shè)有若干槽狀間隔，槽狀結(jié)構(gòu)的間距與母花籃或石英舟的硅片槽的間距相等。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片插片方法，其特征在于：推片時(shí)，母花籃和公花籃放置在底部平板(21)上，并且都緊靠中部箱體(22)，一手扶住后端的母花籃，一手移動(dòng)推片機(jī)構(gòu)即可完成推片。