[發明專利]一種直拉法生產單晶硅過程中對掛料的處理方法在審
| 申請號： | 201611213827.6 | 申請日： | 2016-12-23 |
| 公開（公告）號： | CN108239785A | 公開（公告）日： | 2018-07-03 |
| 發明（設計）人： | 王雅楠;崔彬;劉卓;姜艦;韓秋雨;翟順元 | 申請（專利權）人： | 有研半導體材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/00 | 分類號： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100 | 代理人： | 劉秀青;熊國裕 |
| 地址： | 101300 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 掛料 反射 單晶硅 熱量集中 直拉法 熔化 多晶塊料 石英坩堝 溫度過高 籽晶夾頭 多功率 反射面 觀察窗 籽晶夾 掉落 分拆 熱場 熔體 堝轉 軟化 生產 對準 取出 隔離 觀察 | ||
【權利要求書】：
1.一種直拉法生產單晶硅過程中對掛料的處理方法，采用反射工具對掛料進行處理，包括以下步驟：
(1)當發生掛料時將籽晶夾頭部分拆下，換上反射工具。
(2)將反射工具的反射面對準掛料位置，反射的熱量集中到掛料位置，通過觀察窗觀察掛料位置的熔化情況，使晶轉、堝轉同步，使熱量集中的部位相對固定；
(3)待多晶塊料掉落到熔體中，再進行隔離取出反射工具，換上籽晶夾頭進行生產。
2.根據權利要求1所述的處理方法，其特征在于，所述反射工具主要由三部分組成，分別為連接桿、石墨槽、反射金屬板，連接桿的上端通過銷釘連接晶升鋼纜，下端通過螺紋可旋轉的連接在石墨槽的上端，反射金屬板通過螺釘固定在石墨槽的槽口上。
3.根據權利要求1所述的處理方法，其特征在于，所述反射工具的材質為石墨與金屬材料。
4.根據權利要求3所述的處理方法，其特征在于，所述石墨的灰分為P5以下。
5.根據權利要求3所述的處理方法，其特征在于，所述金屬材料為鉬。
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