[發(fā)明專(zhuān)利]基于射頻微機(jī)電開(kāi)關(guān)的螺旋五位分布式微機(jī)電移相器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611213595.4
• 申請(qǐng)日: 2016-12-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106785250B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-01-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田文超;張曉桐;陳志強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 西安電子科技大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): H01P1/18
• 分類(lèi)號(hào): H01P1/18;H01Q3/36
• 代理公司: 陜西電子工業(yè)專(zhuān)利中心 61205
• 代理人: 王品華;朱紅星

1.一種基于射頻微機(jī)電開(kāi)關(guān)的螺旋五位分布式微機(jī)電移相器，包括：基板(45)、基板絕緣層(47)、共面波導(dǎo)左地線(41)、共面波導(dǎo)信號(hào)線(42)、共面波導(dǎo)右地線(44)、射頻微機(jī)電開(kāi)關(guān)組(43)和直流偏置點(diǎn)列(46)；基板(45)上沉積一層基板絕緣層(47)，共面波導(dǎo)左地線(41)、共面波導(dǎo)信號(hào)線(42)和共面波導(dǎo)右地線(44)分布于基板絕緣層(47)上方，射頻微機(jī)電開(kāi)關(guān)組(43)中每一個(gè)開(kāi)關(guān)兩端跨接于共面波導(dǎo)左地線(41)與共面波導(dǎo)右地線(44)上，且開(kāi)關(guān)膜橋位于共面波導(dǎo)信號(hào)線(42)上方，其特征在于：

所述的共面波導(dǎo)左地線(41)、共面波導(dǎo)信號(hào)線(42)和共面波導(dǎo)右地線(44)，按照?qǐng)A形螺旋狀布線方式分布在基板(45)上；

所述的射頻微機(jī)電開(kāi)關(guān)組(43)由31個(gè)電容式射頻微機(jī)電開(kāi)關(guān)組成，且分別按照1個(gè)、2個(gè)、4個(gè)、8個(gè)、16個(gè)射頻微機(jī)電開(kāi)關(guān)分為5個(gè)單元；每個(gè)單元中的射頻微機(jī)電開(kāi)關(guān)并聯(lián)連接，同時(shí)加載偏置電壓，實(shí)現(xiàn)五位31種不同的相位變化。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的圓形螺旋狀布線方式是將共面波導(dǎo)左地線(41)的一端呈圓形從微機(jī)電移相器中心繞至最外圈，共面波導(dǎo)信號(hào)線(42)的內(nèi)圈分布于共面波導(dǎo)左地線(41)的圓形端之外，共面波導(dǎo)信號(hào)線(42)的外圈分布于共面波導(dǎo)左地線(41)的外圈之內(nèi)，共面波導(dǎo)右地線(44)分布于共面波導(dǎo)信號(hào)線(42)的內(nèi)圈與外圈之間，形成由微機(jī)電移相器中心至外依次為共面波導(dǎo)左地線(41)的圓形端、共面波導(dǎo)信號(hào)線(42)的內(nèi)圈、共面波導(dǎo)右地線(44)、共面波導(dǎo)信號(hào)線(42)的外圈和共面波導(dǎo)左地線(41)的外圈所排列的圓形螺旋狀布線方式。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的五位不同的相位變化，依次為11.25°、22.5°、45°、90°和180°的相位變化，通過(guò)兩兩組合或多個(gè)組合得到步長(zhǎng)為11.25°的31種相位變化。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的直流偏置點(diǎn)列(46)包括5個(gè)直流偏置點(diǎn)，分別對(duì)應(yīng)射頻微機(jī)電開(kāi)關(guān)組(43)的5個(gè)開(kāi)關(guān)單元，并集中布置在基板(45)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的共面波導(dǎo)信號(hào)線(42)的內(nèi)圈與外圈連接線處設(shè)有拐角。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的共面波導(dǎo)左地線(41)、共面波導(dǎo)信號(hào)線(42)和共面波導(dǎo)右地線(44)均采用銅材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的射頻微機(jī)電開(kāi)關(guān)組(43)的開(kāi)關(guān)膜橋采用金材料。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的基板(45)采用氧化鋁陶瓷材料。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移相器，其特征在于，所述的基板絕緣層(47)采用氮化硅材料。