[發明專利]一種具備耐磨耐蝕涂層鎢鎳合金的制備方法

在審

• 申請號: 201611212397.6
• 申請日: 2016-12-25
• 公開（公告）號: CN108239754A
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 青島祥智電子技術有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/16;C23C14/06;C22C29/08;C22C1/05;C22C1/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種具備耐磨耐蝕涂層鎢鎳合金的制備方法，該方法包括如下步驟：

(1)制備基體

按以下重量組份配制混合粉

碳化鎢，90.1％-92.8％，費氏粒度0.8-1μm；

鎳粉，5％-6％，費氏粒度0.5-1.0μm；

碳化鉻，余量；

將上述配比的混合粉進行濕磨；其中球磨時間分段控制；先將碳化物粉及添加劑碳化鉻加入球磨筒濕磨12-16小時，再加入鎳粉濕磨14-18小時；

將球磨完畢的混合料料漿干燥；

將干燥混合料壓制成所需形狀的壓制品；

將壓制品放在燒結爐內高溫燒結，燒結溫度為1450-1470℃，保溫時間70-90min，燒結壓力為4.5-5.0Mpa，獲得鎢鎳合金基體；

(2)基體預處理

所述基體預處理，可依次進行研磨拋光、超聲清洗和離子源清洗；

(3)濺射沉積

將預處理后的基體置于鍍膜設備真空腔體中，選用Cr、AlSi靶，靶電流為50-100A，工件上施加-20—-50V負偏壓，控制加熱溫度為400℃-450℃，通入氬氣和氮氣，通過控制氬氣流量、氮氣流量以及沉積時間在基體表面依次沉積Cr層、CrN層以及CrAlSiN層組成，具體如下：

(31)氬氣流量保持為150sccm-200sccm，氮氣流量為0sccm，沉積1.5-2.5h，得到Cr層；

(32)氬氣流量保持為20-80sccm，氮氣流量為100sccm-300sccm，沉積時間為3-5h，得到CrN層；

(33)氬氣流量保持為50-100sccm，氮氣流量為450sccm-700sccm，沉積時間為10-15h，得到CrAlSiN層；

待涂層沉積完畢后，在真空環境下冷卻至220℃以下，然后在氮氣保護氣氛下冷卻至100℃以下，最后放氣至大氣壓，開腔出爐，即在基體表面獲得復合涂層。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述步驟(2)中，所述研磨拋光，可將基體先在600目的金剛石砂輪盤上進行粗磨10min，然后在1200目的金剛石砂輪盤上進行細磨10min，再用W2.5的金剛石拋光粉進行拋光至試樣表面均勻光亮，所述超聲清洗，可將研磨拋光后的基體按以下順序清洗，丙酮超聲清洗5min→無水乙醇超聲清洗5min→烘干待用，所述離子源清洗，可采用霍爾離子源對基體進行清洗5min，壓強為2×10^-2Pa，基體溫度為300℃，氬氣通量為10sccm，偏壓為-100V，陰極電流為29.5A，陰極電壓為19V，陽極電流為7A，陽極電壓為80V，以清除基體表面的吸附氣體以及雜質，提高沉積涂層與基體的結合強度以及成膜質量。