[發明專利]CMP后清洗設備清洗刷驅動軸結構及使用方法有效
| 申請號： | 201611208175.7 | 申請日： | 2016-12-23 |
| 公開（公告）號： | CN106670149B | 公開（公告）日： | 2019-05-17 |
| 發明（設計）人： | 陶利權;費玖海;舒福璋;張繼靜 | 申請（專利權）人： | 北京半導體專用設備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所） |
| 主分類號： | B08B1/04 | 分類號： | B08B1/04;B08B13/00;F16D3/20 |
| 代理公司： | 北京中建聯合知識產權代理事務所(普通合伙) 11004 | 代理人： | 朱婷婷;朱麗巖 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | cmp 清洗 設備 洗刷 驅動 結構 使用方法 | ||
【權利要求書】：
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