[發(fā)明專利]一種電子顯微鏡斷層成像方法及系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201611207099.8 | 申請日： | 2016-12-23 |
| 公開（公告）號： | CN106783496B | 公開（公告）日： | 2018-05-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 毛珩;溫爽;姜明 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京大學(xué) |
| 主分類號： | H01J37/26 | 分類號： | H01J37/26;H01J37/28;H01J37/295;H01J37/22 |
| 代理公司： | 北京匯智勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11346 | 代理人： | 石輝 |
| 地址： | 100871*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 電子顯微鏡 斷層 成像 方法 系統(tǒng) | ||
1.一種電子顯微鏡斷層成像方法，其特征在于，包括：
步驟1，系統(tǒng)復(fù)位，該步驟具體包括：
步驟11，將樣品臺的中心調(diào)整至位于電子顯微鏡的主光軸上；
步驟12，將置于樣品臺上的待測樣品調(diào)整為零狀態(tài)；
步驟2，采集投影及其參數(shù)，該步驟具體包括：
步驟21，采集待測樣品在零狀態(tài)下的透射圖像，并在該透射圖像上選取感興趣區(qū)域的中心在三維坐標(biāo)系中的坐標(biāo)值(u,v,w)，該三維坐標(biāo)系的原點(diǎn)是樣品臺上表面的中心點(diǎn)，(u，v)所在的平面平行樣品臺的上表面，u和v的方向相互垂直，w的方向?yàn)闃悠放_的法線方向；
步驟22，根據(jù)所有需要采集的投影參數(shù)中的角度組合(alpha
步驟23，控制樣品臺按照步驟22中的每一個(gè)角度組合(alpha
步驟3，根據(jù)步驟23采集到的投影及其參數(shù)，重建出待測樣品的層析圖像。
2.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡斷層成像方法，其特征在于，步驟21用于較薄的待測樣品的情形下，具體包括：
步驟211，利用低分辨率采集待測樣品在零狀態(tài)下的圖像，該圖像經(jīng)過預(yù)處理后，得到待測樣品的大范圍透射圖像；
步驟212，在待測樣品的大范圍透射圖像上選取感興趣區(qū)域的中心的坐標(biāo)值中的u和v，并以待測樣品的厚度中心對應(yīng)的高度作為感興趣區(qū)域的中心的坐標(biāo)值中的w，以確定感興趣區(qū)域的中心坐標(biāo)值(u,v,w)；步驟21用于較厚的待測樣品的情形下，具體包括：
步驟211’，利用低分辨率采集待測樣品在零狀態(tài)下的圖像；
步驟212’，步驟211’采集到的圖像經(jīng)過預(yù)處理后，得到待測樣品的大范圍透射圖像，在待測樣品的大范圍透射圖像上選取感興趣區(qū)域的中心的坐標(biāo)值中的u和v，并以待測樣品的厚度中心對應(yīng)的高度作為感興趣區(qū)域的中心的坐標(biāo)值中的w，以初步確定感興趣區(qū)域的中心坐標(biāo)值(u,v,w)；
步驟213’，利用步驟212’確定的中心坐標(biāo)值(u,v,w)以及一個(gè)預(yù)設(shè)的角度組合(alpha
步驟214’，控制樣品臺按照步驟213’中的每一個(gè)角度組合(alpha
步驟215’，利用高分辨率采集待測樣品在零狀態(tài)下的圖像，按照步驟212’相同的方法，以最終確定感興趣區(qū)域的中心坐標(biāo)值(u,v,w)。
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