[發明專利]一種柔性OLED顯示屏薄膜的制備方法

有效

• 申請號: 201611206700.1
• 申請日: 2016-12-23
• 公開（公告）號: CN106848089B
• 公開（公告）日: 2018-12-21
• 發明（設計）人: 陳慶;曾軍堂;王鐳迪
• 申請（專利權）人: 匯精(廈門)電子科技有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 北京國坤專利代理事務所(普通合伙) 11491
• 代理人: 黃耀鈞

1.一種柔性OLED顯示屏薄膜的制備方法，所述方法采用丙烯酸及衍生物單體作為有機膜原料，采用射頻磁控濺射的方法在有機膜上制備無機介質致密膜層，包括以下步驟：

（1）清洗塑料襯底，獲得清潔的塑料襯底；清洗塑料襯底包括以下步驟：

在乙醇溶液中超聲清洗10-15分鐘，去除塑料襯底表面的油脂，然后用去離子水沖洗，去除塑料襯底表面的鹽，在40-50℃的氬氣保護下烘干塑料襯底；

所述氬氣為純度為99.9%，氬氣的環境氣壓為100-1000Pa；

（2）在所述清潔塑料襯底上，采用100-120℃的蒸發溫度，真空度下，蒸鍍50-200nm的丙烯酸及衍生物單體，襯底溫度設置為50-80℃，使得蒸發到襯底的丙烯酸及衍生物單體經過聚合固化，凝結成一種柔性透明的膜；

（3）然后在將Al₂O₃無機介質致密膜層通過射頻濺射的方法，控制射頻濺射的參數為濺射功率120W，濺射氣壓為0.5Pa，沉積溫度為50℃沉積到聚合物薄膜層上，控制Al₂O₃無機介質致密膜層的厚度為200nm，再將VO₂無機介質致密膜層通過射頻濺射的方法，控制射頻濺射的參數為濺射功率100W，濺射氣壓為0.6Pa，沉積溫度為50℃沉積到Al₂O₃層上，控制VO₂無機介質致密膜層的厚度為100nm，作為阻擋水汽和氧氣的屏障。

2.根據權利要求1所述的一種柔性OLED顯示屏薄膜的制備方法，其特征在于，所述丙烯酸及衍生物單體包括：丙烯酸、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸正丁酯的任一種。

3.根據權利要求1所述的一種柔性OLED顯示屏薄膜的制備方法，其特征在于，在所述固化時間為30-50分鐘。