[發(fā)明專利]四波前橫向剪切干涉波前傳感器的靈敏度增強裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611205317.4
• 申請日: 2016-12-23
• 公開（公告）號: CN106767391B
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊甬英;張銳;江佳斌;凌曈
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 葉志堅

1.四波前橫向剪切干涉波前傳感器的靈敏度增強方法，其特征在包括如下步驟：

步驟(1)調(diào)節(jié)第一四波前橫向剪切干涉波前傳感器(S2)和第二四波前橫向剪切干涉波前傳感器(S4)使得兩波前傳感器的探測器位于等光程位置；

步驟(2)分別調(diào)節(jié)第一四波前橫向剪切干涉波前傳感器(S2)和第二四波前橫向剪切干涉波前傳感器(S4)中隨機編碼混合光柵與探測器感光面之間的距離，以得到不同的剪切率；

步驟(3)分別調(diào)節(jié)第一四波前橫向剪切干涉波前傳感器(S2)和第二四波前橫向剪切干涉波前傳感器(S4)的相對水平位置和俯仰角，以得到的兩張空間位置重合的四波前橫向剪切干涉圖；

步驟(4)對兩幅不同剪切率的四波前橫向剪切干涉圖采用組合剪切率傅里葉變換波前位相解調(diào)算法進行解調(diào)，包括如下步驟：

(1)分別對兩個波前傳感器采集得到的干涉圖實施傅里葉變換，得到各自干涉圖對應(yīng)的頻譜圖；

(2)對干涉圖頻譜中正一級譜實施逆傅里葉變換和相位解包裹算法后得到各自x、y方向上的剪切波前；

(3)對x、y方向上的剪切波前再次進行傅里葉變換，對x、y方向剪切波前頻譜采用最小二乘擬合法將頻譜信息相互疊加，補足頻譜周期性缺失的信息，消除相對靈敏度為零的區(qū)域，得到待測波前對應(yīng)的頻譜，再經(jīng)傅里葉逆變換得到待測波前，實現(xiàn)高靈敏度的波前位相檢測；

該方法使用的裝置包括分光棱鏡(S1)、第一四波前橫向剪切干涉波前傳感器(S2)、反射鏡(S3)、第二四波前橫向剪切干涉波前傳感器(S4)；其中第一四波前橫向剪切干涉波前傳感器(S2)和第二四波前橫向剪切干涉波前傳感器(S4)置于等光程位置，分光棱鏡(S1)以及第一四波前橫向剪切干涉波前傳感器(S2)在第一條光路中順序排列；分光棱鏡(S1)、反射鏡(S3)以及第二四波前橫向剪切干涉波前傳感器(S4)在第二條光路中順序排列；所述的四波前橫向剪切干涉波前傳感器為隨機編碼混合光柵波前傳感器。