[發(fā)明專利]低頻負(fù)剛度電容傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611201764.2
• 申請日: 2016-12-22
• 公開（公告）號: CN106595722B
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 雷鷹;劉麗君;聶泳忠
• 申請（專利權(quán)）人: 廈門大學(xué)
• 主分類號: G01D5/24
• 分類號: G01D5/24
• 代理公司: 北京東方億思知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11258
• 代理人: 彭瓊

1.一種低頻負(fù)剛度電容傳感器，包括：

絕緣底板；

可變電容器，其放置在所述絕緣底板上并且包括彼此平行且間隔放置的第一極板、第二極板和振動板，所述振動板以懸臂的方式夾置在所述第一極板與所述第二極板之間，從而在所述第一極板與所述振動板之間形成第一電容器，并在所述振動板與所述第二極板之間形成第二電容器；以及

靜電極板，其放置在所述絕緣底板上并且包括彼此平行且間隔放置的第三極板和第四極板，所述振動板的一部分伸入到所述第三極板與所述第四極板之間，所述第三極板與所述第四極板之間的靜電場是可調(diào)節(jié)的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低頻負(fù)剛度電容傳感器，還包括微控制器，其耦合到所述靜電極板，以調(diào)節(jié)所述第三極板與所述第四極板之間的靜電場。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低頻負(fù)剛度電容傳感器，其中，所述可變電容器的中軸線和所述靜電極板的中軸線保持在相同位置處。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的低頻負(fù)剛度電容傳感器，其中，所述振動板的上表面和下表面通過濺射法層疊有導(dǎo)電物質(zhì)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的低頻負(fù)剛度電容傳感器，其中，所述振動板通過在濺射過程中利用掩模板分割成變電容區(qū)域和靜電場區(qū)域。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的低頻負(fù)剛度電容傳感器，其中，所述第一電容器由所述第一極板與所述振動板借助于第一墊塊來形成，并且所述第二電容器由所述振動板與所述第二極板借助于第二墊塊來形成。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的低頻負(fù)剛度電容傳感器，其中，所述第一墊塊和所述第二墊塊是絕緣體，并且所述第二墊塊的上表面通過濺射法層疊有導(dǎo)電物質(zhì)，以有助于連接信號線來傳送信號。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的低頻負(fù)剛度電容傳感器，其中，所述振動板與所述第二墊塊之間通過離子鍵合進(jìn)行粘結(jié)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的低頻負(fù)剛度電容傳感器，還包括由金屬制成的外殼和底座，所述外殼與所述底座之間以密封的方式進(jìn)行接合，以為所述可變電容器和所述靜電極板提供封閉空間。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的低頻負(fù)剛度電容傳感器，其中，所述外殼的一側(cè)設(shè)有用于引出信號線的小孔。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的低頻負(fù)剛度電容傳感器，還包括襯墊，其放置在所述絕緣底板上并且用于固定和連通內(nèi)接信號線和外接信號線。