[發(fā)明專利]傳感器用基板及物理量檢測傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611199825.6
• 申請日: 2016-12-22
• 公開（公告）號: CN107064556B
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 龜田高弘
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/097
• 分類號: G01P15/097
• 代理公司: 北京金信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225
• 代理人: 蘇萌萌;范文萍

1.一種傳感器用基板，其特征在于，

所述傳感器用基板具有：

基底部；

可動部，其與所述基底部連接；

支承部，其在從所述可動部的厚度方向進行觀察的俯視時，從所述基底部起沿著所述可動部而延伸；

第一間隙部，其具有在所述俯視時，所述可動部與所述支承部中的任意一方朝向另一方突出的突出部，并且在一個所述突出部與所述另一方之間具有預(yù)定的間隔；

第二間隙部，其在所述俯視時，位于比所述第一間隙部靠所述基底部側(cè)處，并具有與所述預(yù)定的間隔相比較寬的間隔，

在所述第一間隙部中，在與所述支承部的延伸方向垂直的剖視時，所述突出部在面對所述第一間隙部的一側(cè)具有凸條部。

2.如權(quán)利要求1所述的傳感器用基板，其特征在于，

所述支承部在所述俯視時，被配置在隔著所述可動部的兩側(cè)，

所述第一間隙部以及所述第二間隙部分別被配置在隔著所述可動部的兩側(cè)，

各個所述突出部在所述俯視時向同一方向突出。

3.如權(quán)利要求1或2所述的傳感器用基板，其特征在于，

所述凸條部被設(shè)置在所述突出部的截面的大致中央處。

4.如權(quán)利要求1所述的傳感器用基板，其特征在于，

所述凸條部在所述俯視時，呈寬度從所述可動部或所述支承部的基端部側(cè)朝向頂端部側(cè)而變窄的梯形形狀。

5.如權(quán)利要求1所述的傳感器用基板，其特征在于，

使用通過Z切割而被切出的水晶Z切割板。

6.如權(quán)利要求5所述的傳感器用基板，其特征在于，

所述突出部向所述水晶Z切割板的+X晶軸方向突出。

7.如權(quán)利要求1所述的傳感器用基板，其特征在于，

第二間隙長度長于第一間隙長度，其中，所述第一間隙長度為所述第一間隙部的在與間隙寬度方向交叉的方向上的長度，所述第二間隙長度為所述第二間隙部的在與間隙寬度方向交叉的方向上的長度。

8.一種物理量檢測傳感器，其特征在于，具備：

權(quán)利要求1至7中任一項所述的傳感器用基板；

物理量檢測元件，其一端部被固定在所述基底部上，另一端部被固定在所述可動部上。

9.一種加速度傳感器，其特征在于，

具備權(quán)利要求8所述的物理量檢測傳感器，并通過該物理量檢測傳感器而對加速度進行測量。

10.一種電子設(shè)備，其特征在于，

搭載有權(quán)利要求8所述的物理量檢測傳感器。

11.一種移動體，其特征在于，

搭載有權(quán)利要求8所述的物理量檢測傳感器。