[發明專利]一種氣體分析裝置

有效

• 申請號: 201611199417.0
• 申請日: 2016-12-22
• 公開（公告）號: CN106841517B
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 姚佳;周連群;郭振;李傳宇;張威;張芷齊;孔慧
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州生物醫學工程技術研究所;蘇州國科芯感醫療科技有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 張建綱

一種氣體分析裝置，用于檢測氣體雜質，包括：第一測量管路，入口連接傳輸待測氣體的主管路，出口設有第一接口；第二測量管路，包括純化器，所述純化器入口連接所述主管路，所述純化器出口并聯設有第二接口及第三接口，僅在所述第三接口與所述純化器出口之間連接有標準氣體發生器；還包括檢測裝置，具有氣體入口和氣體出口，所述氣體入口在第一位置僅連接所述第一接口以形成第一流路，在第二位置僅連接所述第二接口以形成第二流路，在第三位置僅連接所述第三接口以形成第三流路。本發明的檢測裝置氣體入口在不同位置連接不同接口，取消了可能殘留前次檢測氣體的管路，使得前次檢測的氣體不會對后續的檢測造成影響，縮短了等待時間。

技術領域

本發明涉及檢測領域，具體為一種氣體分析裝置。

背景技術

在半導體制造、石油化工、制藥等高端應用領域，有眾多場合需要檢測氣體中的雜質，如微量水分，其濃度可達ppb級別。例如在半導體制造過程中，所使用的電子特氣中水分含量超標將嚴重影響最終的電子元器件產品的質量。`

目前常見的測量氣路系統如圖1所示，1為主氣路管道，從主氣路管道中分出的支路2用于進行水分濃度分析，支路氣流首先通過一個節流閥3，用于將氣體流速降低減輕對傳感器的氣流沖擊，電磁閥4、5、6、7用于控制氣流流向，電磁閥4用于控制整個分析系統的工作狀態，關閉電磁閥4將切斷整個微量水分分析系統。電磁閥5、6、7分別控制支路8、9、10的流通狀態，在同一時間只有一個支路可以流通。系統工作時，首先打開電磁閥4和6，關閉5和7，被分析氣體流經支路2、節流閥3、電磁閥4、純化器11、支路10、電磁閥6、傳感器12，傳感器12測量的是可以認為不含水分的超純氣體，獲得傳感器的零響應；隨后打開電磁閥4和7，關閉5和6，被分析氣體流經支路2、節流閥3、電磁閥4、純化器11、標準氣體發生器13、支路8、電磁閥7、傳感單元12，傳感器12得到的信號響應是含有標準的已知濃度水分的氣流響應；最后打開電磁閥4和5，關閉電磁閥6和7，被分析氣體流經支路2、節流閥3、電磁閥4、支路9、電磁閥5、傳感單元12，傳感器得到的信號響應是被測氣路中的水分帶來的響應。

然而，該種檢測方法由于通路8、9、10中的閥后管路14、15、16殘留部分相應的檢測氣體，在由某一檢測模式轉換為另一檢測模式后，前一檢測模式在相應管路中殘留的氣體將會被吸入和/或擴散進入正在檢測模式相對應的管路中，這些殘留的氣體混入正在檢測的管路中的氣體中會對傳感單元的檢測造成干擾。通常的解決手段就是在轉換檢測模式后，等待一段時間，來使吸入和/或擴散進入待檢測管路中的殘留氣體逐漸稀釋到符合檢測要求的程度，再進行正式的檢測，這一等待時間通常稱為“穩定時間”。顯然，的閥后管路14、15、16越長造成傳感單元12的信號變換時穩定時間增長，響應速度嚴重變慢，信號質量變差，測量精度下降。

發明內容

因此，本發明要解決的技術問題是：現有技術在檢測中轉換的穩定時間長，響應速度慢的問題，從而提供一種氣體分析裝置。

一種氣體分析裝置，用于檢測氣體雜質，包括：

第一測量管路，入口連接傳輸待測氣體的主管路，出口設有第一接口；

第二測量管路，包括純化器，所述純化器入口連接所述主管路，所述純化器出口并聯設有第二接口及第三接口，僅在所述第三接口與所述純化器出口之間連接有標準氣體發生器；

還包括檢測裝置，具有氣體入口和氣體出口，所述氣體入口在第一位置僅連接所述第一接口以形成第一流路，在第二位置僅連接所述第二接口以形成第二流路，在第三位置僅連接所述第三接口以形成第三流路。

進一步的，還包括排氣管；所述檢測裝置的所述氣體出口至少在所述第一流路、所述第二流路、所述第三流路之一導通時連通所述排氣管的入口。

進一步的，所述排氣管出口連通所述主管路。