[發(fā)明專利]一種光透半導(dǎo)體材料及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611197972.X
• 申請(qǐng)日: 2016-12-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106601592B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 路金蓉;王磊;劉靜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): H01L21/02
• 分類號(hào): H01L21/02;C23C26/00
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王文君

1.一種光透半導(dǎo)體材料，其特征在于，包括基底和附著于所述基底上的液態(tài)金屬層；所述液態(tài)金屬層上方為氧化鋅片層結(jié)構(gòu)；所述液態(tài)金屬層與所述氧化鋅片層結(jié)構(gòu)接觸的表面為一層穩(wěn)定氧化膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光透半導(dǎo)體材料，其特征在于，所述液態(tài)金屬為鎵、鎵銦合金、鎵銦錫合金、鎵銦錫鋅合金中的一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光透半導(dǎo)體材料，其特征在于，所述液態(tài)金屬為鎵銦二元合金或鎵銦錫三元合金。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光透半導(dǎo)體材料，其特征在于，所述液態(tài)金屬為鎵銦二元合金，其中，鎵的含量為質(zhì)量分?jǐn)?shù)50～90％，其余為銦；或，為鎵銦錫三元合金，其中，鎵的含量為質(zhì)量分?jǐn)?shù)60～80％，銦的含量為質(zhì)量分?jǐn)?shù)10～30％，其余為錫。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4任意一項(xiàng)所述的光透半導(dǎo)體材料，其特征在于，所述液態(tài)金屬層的厚度為20μm～200μm。

6.一種光透半導(dǎo)體材料的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)在基底上均勻噴涂液態(tài)金屬層，靜置至所述液態(tài)金屬層的表面形成穩(wěn)定氧化膜，得復(fù)合材料；

(2)將步驟(1)所得復(fù)合材料浸沒(méi)于包含硝酸鋅、六次甲基四胺和水的基液中，充分靜置后取出，即得。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法，其特征在于，所述液態(tài)金屬為鎵、鎵銦合金、鎵銦錫合金、鎵銦錫鋅合金中的一種。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制備方法，其特征在于，所述液態(tài)金屬為鎵銦二元合金或鎵銦錫三元合金。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法，其特征在于，所述液態(tài)金屬為鎵銦二元合金，其中，鎵的含量為質(zhì)量分?jǐn)?shù)50～90％，其余為銦；或，為鎵銦錫三元合金，其中，鎵的含量為質(zhì)量分?jǐn)?shù)60～80％，銦的含量為質(zhì)量分?jǐn)?shù)10～30％，其余為錫。

10.根據(jù)權(quán)利要求6～9任意一項(xiàng)所述的制備方法，其特征在于，所述液態(tài)金屬層的厚度為20μm～200μm。

11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法，其特征在于，所述基液中，硝酸鋅的含量為質(zhì)量分?jǐn)?shù)0.3～0.5％，六次甲基四胺的含量為質(zhì)量分?jǐn)?shù)0.6～0.8％，余量為去離子水。

12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法，其特征在于，步驟(2)所述充分靜置具體為：在30℃以上條件下靜置1h以上。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制備方法，其特征在于，步驟(2)所述充分靜置具體為在30～50℃靜止5～8h、在50～80℃靜止3～5h或在80～100℃靜止1～3h。

14.權(quán)利要求6～9、11～13任意一項(xiàng)所述方法制備而成的光透半導(dǎo)體材料。