[發(fā)明專利]非對(duì)稱結(jié)構(gòu)相移光柵及DFB半導(dǎo)體激光器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611197818.2
• 申請(qǐng)日: 2016-12-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108233172A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭俊守;孫雨舟;王祥忠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州旭創(chuàng)科技有限公司
• 主分類號(hào): H01S5/12
• 分類號(hào): H01S5/12;H01S5/10
• 代理公司: 蘇州威世朋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32235
• 代理人: 楊林潔

1.一種非對(duì)稱結(jié)構(gòu)相移光柵，其特征在于，所述相移光柵包括位于相移光柵非中心位置的相移結(jié)構(gòu)及位于相移結(jié)構(gòu)兩側(cè)的第一光柵和第二光柵，所述第一光柵和第二光柵的光柵周期相等、且光柵占空比相等或光柵占空比之和等于1，所述第一光柵和第二光柵的長(zhǎng)度不同，第一光柵和第二光柵中鄰近相移結(jié)構(gòu)兩側(cè)的刻蝕深度小于遠(yuǎn)離相移結(jié)構(gòu)兩側(cè)的刻蝕深度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非對(duì)稱結(jié)構(gòu)相移光柵，其特征在于，所述相移結(jié)構(gòu)的相移量為0、λ/4、λ/8、或λ，λ為相移光柵的輸出波長(zhǎng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非對(duì)稱結(jié)構(gòu)相移光柵，其特征在于，所述第一光柵和第二光柵的占空比為(0，1)范圍內(nèi)的任意值且兩者占空比相等，或第一光柵和第二光柵的占空比分別在(0，0.5)和(0.5，1)范圍且兩者之和等于1。

4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的非對(duì)稱結(jié)構(gòu)相移光柵，其特征在于，所述第一光柵和第二光柵的長(zhǎng)度之比滿足1<L₁:L₂≤3，L₁和L₂分別為第一光柵和第二光柵的長(zhǎng)度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的非對(duì)稱結(jié)構(gòu)相移光柵，其特征在于，所述第一光柵和第二光柵中鄰近相移結(jié)構(gòu)兩側(cè)相同長(zhǎng)度L₀的刻蝕深度為H₀，第一光柵和第二光柵中遠(yuǎn)離相移結(jié)構(gòu)兩側(cè)的刻蝕深度為H，其中，0<L₀ <L₂，H₀<H。

6.一種DFB半導(dǎo)體激光器，所述DFB半導(dǎo)體激光器包括DFB激光腔及位于DFB激光腔上方和下方的若干外延層，DFB激光腔包括依次設(shè)置的光柵刻蝕阻止層、相移光柵、光柵覆蓋層，其特征在于，所述相移光柵包括位于相移光柵非中心位置的相移結(jié)構(gòu)及位于相移結(jié)構(gòu)兩側(cè)的第一光柵和第二光柵，所述第一光柵和第二光柵的光柵周期相等、且光柵占空比相等或光柵占空比之和等于1，所述第一光柵和第二光柵的長(zhǎng)度不同，第一光柵和第二光柵中鄰近相移結(jié)構(gòu)兩側(cè)的刻蝕深度小于遠(yuǎn)離相移結(jié)構(gòu)兩側(cè)的刻蝕深度，DFB半導(dǎo)體激光器兩端面的輸出功率不相等，以增大DFB半導(dǎo)體激光器的有效輸出光功率。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的DFB半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述第一光柵和第二光柵的長(zhǎng)度之比滿足1<L₁:L₂≤3，L₁和L₂分別為第一光柵和第二光柵的長(zhǎng)度。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的DFB半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述第一光柵和第二光柵中鄰近相移結(jié)構(gòu)兩側(cè)相同長(zhǎng)度L₀的刻蝕深度為H₀，第一光柵和第二光柵中遠(yuǎn)離相移結(jié)構(gòu)兩側(cè)的刻蝕深度為H，其中，0<L₀ <L₂，H₀<H。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的DFB半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述DFB半導(dǎo)體激光器的兩側(cè)端面均鍍有抗反射膜。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的DFB半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述DFB半導(dǎo)體激光器為掩埋異質(zhì)結(jié)型激光器或脊波導(dǎo)型激光器。