[發明專利]一種用于氮化鋁晶體的濕法腐蝕裝置在審
| 申請號： | 201611197128.7 | 申請日： | 2016-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN106480508A | 公開（公告）日： | 2017-03-08 |
| 發明（設計）人： | 吳亮;劉理想;曹凱;汪佳;龔加瑋;王琦琨;王智昊 | 申請（專利權）人： | 蘇州奧趨光電技術有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10;C30B29/40 |
| 代理公司： | 蘇州創元專利商標事務所有限公司32103 | 代理人： | 孫仿衛 |
| 地址： | 215699 江蘇省蘇州市張家港市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 氮化 晶體 濕法 腐蝕 裝置 | ||
【說明書】：
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