[發(fā)明專利]一種FTO薄膜表面選擇性一步制備波紋結(jié)構(gòu)的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611196802.X
• 申請(qǐng)日: 2016-12-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106624348B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李保家;黃立靜;任乃飛;宋娟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇大學(xué)
• 主分類號(hào): B23K26/00
• 分類號(hào): B23K26/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種FTO薄膜表面選擇性一步制備波紋結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1、FTO薄膜的預(yù)處理：取大小為2.0cm×2.0cm FTO薄膜，依次用去離子水、丙酮和乙醇浸泡樣品在超聲機(jī)中清洗20分鐘，再用高純氮?dú)獯蹈桑詈蠛娓桑瑐溆茫?/p>

步驟2、銅網(wǎng)輔助激光輻照FTO薄膜：將銅網(wǎng)放置于FTO薄膜正上方，再采用激光對(duì)銅網(wǎng)表面進(jìn)行輻照處理，在FTO薄膜上得到波紋結(jié)構(gòu)；

所述銅網(wǎng)輔助激光輻照FTO薄膜的步驟如下：

步驟A、將銅網(wǎng)放置在FTO薄膜正上方，調(diào)整銅網(wǎng)位置，控制銅網(wǎng)與FTO薄膜表面距離為0～1mm，使銅網(wǎng)表面位于激光器發(fā)出的激光束的焦點(diǎn)后，對(duì)銅網(wǎng)表面進(jìn)行激光輻照處理；

步驟B、使用超短脈沖激光器作為輸出激光的儀器，調(diào)整超短脈沖激光器的輸出，控制激光能量密度為1.5～2.0J/cm²，掃描速度為5～10mm/s；

步驟C、根據(jù)選用的激光能量確定激光束的掃描線寬，以此來(lái)設(shè)定激光束的掃描路徑，具體為：激光束作單向逐線掃描，通過(guò)設(shè)定線間距來(lái)控制相鄰兩線相互交疊，掃描線重疊率控制在60～80％；

步驟D、根據(jù)設(shè)定的激光束掃描路徑控制激光束運(yùn)動(dòng)，使激光束垂直于銅網(wǎng)表面進(jìn)行掃描；

所述銅網(wǎng)與FTO薄膜表面距離為0～1mm；

激光輻照的熱效應(yīng)對(duì)銅網(wǎng)產(chǎn)生了燒蝕作用，使得銅沉積于FTO薄膜表面，當(dāng)激光輻照于附有銅的FTO薄膜表面時(shí)誘導(dǎo)薄膜產(chǎn)生了波紋結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種FTO薄膜表面選擇性一步制備波紋結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，步驟1中，所述銅網(wǎng)為沖壓式圓孔銅網(wǎng)，圓孔直徑為80μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種FTO薄膜表面選擇性一步制備波紋結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，步驟B中，所述超短脈沖激光器的波長(zhǎng)為532nm，脈沖寬度為1～2ns。