[發明專利]一種空間聚焦的圓錐形高場非對稱波形離子遷移管

在審

• 申請號: 201611195894.X
• 申請日: 2016-12-22
• 公開（公告）號: CN106601583A
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: 楊麗珍;劉忠偉;陳強
• 申請（專利權）人: 北京印刷學院
• 主分類號: H01J49/06
• 分類號: H01J49/06;H01J49/26
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司34112
• 代理人: 余成俊

1.一種空間聚焦的圓錐形高場非對稱波形離子遷移管，其特征在于：包括有依次排列且同軸設置的氣體入口（1）、離子源（3）、圓錐形分離電極対、屏蔽電極（8）、法拉第盤檢測電極對和氣體出口（11）；所述圓錐形分離電極對包括內電極（5）、外電極（6），內電極（5）為圓錐形且與外電極（6）相互平行，內電極（5）靠近離子源（3）的一端為錐底、靠近法拉第盤檢測電極對的一端為錐尖；所述法拉第盤檢測電極對包括有兩個法拉第盤檢測電極（9）；所述氣體入口（1）設置在離子源（3）的前端，氣體出口（11）設置在法拉第盤檢測電極對的后端，屏蔽電極（8）設置在圓錐形分離電極對與法拉第盤檢測電極對之間。

2.如權利要求1所述的空間聚焦的圓錐形高場非對稱波形離子遷移管，其特征在于：所述內電極（5）的錐尖在軸線所在平面的投影夾角（12）在0到180°之間。

3.如權利要求1或2所述的空間聚焦的圓錐形高場非對稱波形離子遷移管，其特征在于：所述內電極（5）與外電極（6）的間距在0到1cm之間。

4.如權利要求3所述的空間聚焦的圓錐形高場非對稱波形離子遷移管，其特征在于：所述圓錐形分離電極対中，一電極通過導線與高場非對稱性射頻電源和補償電源相連，另一電極通過導線與地相連。