[發(fā)明專利]GSG軌道型射頻電極、硅基行波電極光調(diào)制器及制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611195833.3
• 申請日: 2016-12-21
• 公開（公告）號: CN106646931B
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李淼峰;肖希;王磊;陳代高;楊奇;余少華
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢郵電科學(xué)研究院
• 主分類號: G02F1/025
• 分類號: G02F1/025
• 代理公司: 北京捷誠信通專利事務(wù)所(普通合伙) 11221
• 代理人: 王衛(wèi)東

1.一種GSG軌道型射頻電極的制備方法，所述GSG軌道型射頻電極包括GSG型平面電極，所述GSG型平面電極中的兩個由地電極和信號電極之間形成的間隙中的至少一個間隙中周期性地添加用于延遲電場的軌道電極，添加軌道電極的周期小于最小工作波長的十分之一；

每一個軌道電極由兩個分別連接形成該軌道電極所在間隙的信號電極和地電極的T型小電極組成，相鄰的軌道電極之間不連通；

所述GSG軌道型射頻電極的制備方法包括以下步驟：

S1、通過電磁場仿真分析軟件，計算出阻抗為45～55歐姆匹配情況下的GSG型平面電極的幾何尺寸；

S2、在GSG型平面電極上添加負載，重新通過電磁場仿真分析軟件計算出添加了負載的阻抗；

S3、如果負載的阻抗在20～50歐姆之間，則確定在所述GSG型平面電極的兩個由地電極和信號電極之間形成的間隙中的一個間隙中添加軌道電極；如果負載的阻抗在50～100歐姆之間，則確定在所述GSG型平面電極的兩個由地電極和信號電極之間形成的間隙中均添加軌道電極；

S4、在確定的電極結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上，通過電磁場仿真分析軟件，優(yōu)化和設(shè)計軌道電極的結(jié)構(gòu)參數(shù)，獲得一個周期的單元結(jié)構(gòu)設(shè)計；

S5、將優(yōu)化的單元結(jié)構(gòu)在長度方向上周期排列，得到完整的GSG軌道型射頻電極。

2.如權(quán)利要求1所述的GSG軌道型射頻電極的制備方法，其特征在于：所述軌道電極與GSG型平面電極由相同的工藝和材料加工而成。

3.如權(quán)利要求1所述的GSG軌道型射頻電極的制備方法，其特征在于：所述添加軌道電極的周期為50微米。

4.如權(quán)利要求1所述的GSG軌道型射頻電極的制備方法，其特征在于：所述軌道電極與GSG型平面電極處在同一個平面層，或者處在多層平面電極體系的不同平面層。

5.如權(quán)利要求1所述的GSG軌道型射頻電極的制備方法，其特征在于：所述軌道電極與GSG型平面電極處在多層平面電極體系的不同平面層時，軌道電極通過電極層間的通孔與GSG型平面電極連接導(dǎo)通。

6.如權(quán)利要求1所述的GSG軌道型射頻電極的制備方法，其特征在于：步驟S4中，確定在所述GSG型平面電極的兩個由地電極和信號電極之間形成的間隙中均添加軌道電極時，兩個間隙所添加的軌道電極的大小相同或者不同，根據(jù)負載電容的大小進行分別優(yōu)化和設(shè)計。