[發明專利]膜片截止閥及其制造方法

有效

• 申請號: 201611195610.7
• 申請日: 2016-12-21
• 公開（公告）號: CN108217576B
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 張華;關一民
• 申請（專利權）人: 上海傲睿科技有限公司
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81C1/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 張海英;孟金喆

1.一種膜片截止閥的制造方法，所述膜片截止閥包括進液口(1)、進液流道(2)、出液口(3)、可動膜片(4)、基底(5)和氣體捕捉與釋放結構(6)；所述進液口(1)和所述出液口(3)位于同一個進液空腔內；所述可動膜片(4)、所述基底(5)、以及所述氣體捕捉與釋放結構(6)圍攏成封閉的氣體空腔(7)，所述氣體空腔(7)內包含與所述氣體捕捉與釋放結構(6)相匹配的氣體成分；所述出液口(3)位于所述進液空腔的頂部，所述出液口(3)的延伸方向與所述可動膜片(4)所在平面相垂直，所述出液口(3)的垂直投影位于所述可動膜片(4)范圍內；

其特征在于，所述制造方法采用半導體芯片工藝實現；所述制造方法包括下述步驟：

步驟1、在基底(5)上進行聚合物噴涂；

步驟2、采用絲網印刷方式或光刻方式得到吸氣劑的圖形；

步驟3、將多層預制的聚合物膜由下至上依次粘貼在步驟2所得結構上，在每層預制的聚合物膜粘貼后進行圖形化操作和固化操作，直至聚合物固化成型；

步驟4、吸氣劑金屬混合物濺射；

步驟5、將步驟4所得結構圖形化。

2.根據權利要求1所述的膜片截止閥的制造方法，其特征在于，在步驟4中，吸氣劑金屬混合物濺射后根據流體性質做親水處理或疏水處理。

3.根據權利要求1或2所述的膜片截止閥的制造方法，其特征在于，在步驟1中，在所述基底(5)上噴涂聚合物的厚度為0.001um至5um。