[發(fā)明專利]一種柔性O(shè)LED顯示屏薄膜封裝方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611195482.6
• 申請(qǐng)日: 2016-12-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106876602B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳慶;曾軍堂;王鐳迪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吳雨潞
• 主分類號(hào): H01L51/52
• 分類號(hào): H01L51/52
• 代理公司: 臺(tái)州藍(lán)天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33229
• 代理人: 孫煒

1.一種柔性O(shè)LED顯示屏的薄膜封裝方法，其特征在于，所述方法采用三甲基鋁作為有機(jī)鋁源，高純臭氧作為反應(yīng)氣體，高純氮?dú)庾鳛榍宄龤怏w在襯底上制備Al₂O₃介質(zhì)致密膜層，然后涂覆聚對(duì)二甲苯層，包括以下步驟：

（1）清洗塑料襯底，獲得清潔的塑料襯底；

所述清洗塑料襯底包括以下步驟：

在乙醇溶液中超聲清洗10-15分鐘，去除塑料襯底表面的油脂，然后用去離子水沖洗，去除塑料襯底表面的鹽，在40-50℃的氬氣保護(hù)下烘干塑料襯底；

所述氬氣為純度為99.9%，氬氣的環(huán)境氣壓為100-1000Pa；

（2）在所述清潔塑料襯底上，采用250-320℃的襯底溫度，真空度下，采用三甲基鋁作為鋁源、高純臭氧分子為反應(yīng)氣體，高純氮?dú)鉃榍宄龤怏w，通過(guò)原子層沉積Al₂O₃介質(zhì)致密膜層；所述原子層沉積三甲基鋁的流量為10-20sccm，高純臭氧的流量為20-50sccm，高純氮?dú)獾牧髁繛?0-100sccm；

（3）對(duì)二甲苯二聚體進(jìn)行140-180℃高溫裂解產(chǎn)生雙自由基二甲苯，再在Al₂O₃介質(zhì)致密膜層表面冷凝并迅速聚合，得到均勻致密的聚對(duì)二甲苯薄膜，作為阻擋水汽和氧氣的屏障；

（4）將所述塑料襯底粘帖在OLED的金屬陰極層上，壓緊后，周圍涂上PMMA，完成器件封裝。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種柔性O(shè)LED顯示屏的薄膜封裝方法，其特征在于，所述高純臭氧的純度為99.999%，高純氮?dú)獾募兌葹?9.999%。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種柔性O(shè)LED顯示屏的薄膜封裝方法，其特征在于，在所述原子層沉積的時(shí)間為30-50分鐘。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種柔性O(shè)LED顯示屏的薄膜封裝方法，其特征在于，所述Al₂O₃介質(zhì)致密膜層的厚度為10-50nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種柔性O(shè)LED顯示屏的薄膜封裝方法，其特征在于，所述聚對(duì)二甲苯薄膜的沉積溫度為40-60℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種柔性O(shè)LED顯示屏的薄膜封裝方法，其特征在于，所述聚對(duì)二甲苯薄膜的沉積厚度為20-120nm。