[發明專利]一種宇航用鎳電極瓷介電容器可靠度確定方法

有效

• 申請號: 201611194019.X
• 申請日: 2016-12-21
• 公開（公告）號: CN106814093B
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 孟猛;陳雁;吳照璽;段超;王旭;王智彬;李婷
• 申請（專利權）人: 中國空間技術研究院
• 主分類號: G01N23/203
• 分類號: G01N23/203;G01N23/225;G01N23/20008;G01N23/2202
• 代理公司: 中國航天科技專利中心 11009
• 代理人: 陳鵬

1.一種宇航用鎳電極瓷介電容器可靠度確定方法，其特征在于步驟如下：

1)采用金剛石切割機對樣品進行切割，切割至樣品的待觀察區域；

2)使用環氧樹脂對樣品進行封片，將樣品全部包裹，制作成環氧樹脂圓柱體；

3)使用砂紙對樣品進行研磨，研磨至暴露出完整的內電極和端電極，去除產生的劃痕和應力層；

4)對樣品進行拋光并充分清洗；

5)采用振動拋光臺對樣品進行表面處理，拋光液選用0.02μm二氧化硅懸浮液，功率為12％，配重為2kg，拋光2小時；

6)對樣品進行10s以下的噴金處理，并采用導電膠帶將電容器內電極與樣品臺相連；

7)采用電子背散射衍射分析EBSD技術對樣品進行分析，獲得樣品表面晶粒分布圖，然后計算得出樣品的平均晶粒尺寸

8)采用掃描電子顯微鏡SEM對電容的剖面進行觀察和測量，得到電容器介質層數N，介質厚度d和電壓系數α；

9)基于采集到的數據，計算獲得鎳電極電容器可靠度

2.根據權利要求1所述的一種宇航用鎳電極瓷介電容器可靠度確定方法，其特征在于：步驟3)的具體研磨操作如下：

將磨拋機轉速設置為90rad/min以下，壓力設置為3～5N，使用400#砂紙對樣品進行研磨，研磨至暴露出完整的內電極和端電極，之后換800#砂紙研磨，充分去除400#砂紙產生的劃痕和應力層，時間為4min，再更換為1200#砂紙研磨，充分去除800#砂紙產生的劃痕和應力層，時間為3min。

3.根據權利要求1所述的一種宇航用鎳電極瓷介電容器可靠度確定方法，其特征在于：步驟4)的具體操作步驟為：

將磨拋機轉速設置為90rad/min以下，壓力設置為3～5N，對樣品按如下步驟進行拋光：使用9μm拋光布和拋光液對樣品拋光5min以上，并充分清洗；采用3μm拋光布和拋光液對樣品拋光3～5min，并充分清洗；采用1μm拋光布和拋光液對樣品拋光3～5min，并充分清洗；采用0.02μm拋光布和拋光液對樣品拋光5～7min，并充分清洗。