[發明專利]蒸鍍設備有效
申請號: | 201611193856.0 | 申請日: | 2016-12-21 |
公開(公告)號: | CN106435484B | 公開(公告)日: | 2018-07-17 |
發明(設計)人: | 付文悅;張鑫狄 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司 |
主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24;C23C14/56 |
代理公司: | 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 | 代理人: | 黃志華 |
地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索關鍵詞: | 蒸發源 棘輪機構 遮擋板 轉軸 坩堝 蒸鍍設備 棘輪盤 蒸鍍腔 室內 顯示器制備 托盤 使用壽命 有機材料 蒸鍍腔室 自身軸線 可旋轉 棘爪 樞裝 | ||
【權利要求書】:
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