[發(fā)明專利]一種離軸非球面的調(diào)整方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611192873.2
• 申請(qǐng)日: 2016-12-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106595471B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉鈺;苗亮;張文龍;金春水
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號(hào): G01B9/02
• 分類號(hào): G01B9/02
• 代理公司: 深圳市科進(jìn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44316
• 代理人: 趙勍毅

1.一種離軸非球面的調(diào)整方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1，安裝離軸非球面，并以離軸非球面的中心為中心，在離軸非球面上選擇一圓形區(qū)域；

S2，調(diào)整離軸非球面的位置，使圓形區(qū)域內(nèi)的數(shù)據(jù)能夠被檢測(cè)；

S3，平移離軸非球面的位置，并對(duì)平移后的位置進(jìn)行檢測(cè)，并記錄檢測(cè)結(jié)果的zernike系數(shù)；

S4，建立調(diào)整量和zernike系數(shù)之間的矩陣方程；

S5，解矩陣方程，得到將離軸非球面平移到理想位置所需的調(diào)整量；

S6，通過(guò)計(jì)算得出的調(diào)整量調(diào)整離軸非球面。

2.如權(quán)利要求1所述的一種離軸非球面的調(diào)整方法，其特征在于，所述步驟S3，平移離軸非球面的位置，并對(duì)平移后的位置進(jìn)行檢測(cè)，并記錄檢測(cè)結(jié)果的zernike系數(shù)具體為：

調(diào)整被測(cè)非球面X方向平移Δx微米，檢測(cè)被測(cè)離軸非球面上被選擇的圓形區(qū)域，得到檢測(cè)結(jié)果，記錄此時(shí)的檢測(cè)結(jié)果的zernike系數(shù)中的傾斜(z2x′、z3x′)，慧差(z7x′、z8x′)系數(shù)；

調(diào)整被測(cè)非球面Y方向平移Δy微米，檢測(cè)被測(cè)離軸非球面上被選擇的圓形區(qū)域，得到檢測(cè)結(jié)果，記錄此時(shí)的檢測(cè)結(jié)果的zernike系數(shù)中的傾斜(z2y′、z3y′)，慧差(z7y′、z8y′)系數(shù)；

調(diào)整被測(cè)非球面Tilt X自由度旋轉(zhuǎn)Δu微弧度，檢測(cè)被測(cè)離軸非球面上被選擇的圓形區(qū)域，得到檢測(cè)結(jié)果，記錄此時(shí)的檢測(cè)結(jié)果的zernike系數(shù)中的傾斜(z2u′、z3u′)，慧差(z7u′、z8u′)系數(shù)；

調(diào)整被測(cè)非球面Tilt Y自由度旋轉(zhuǎn)Δv微弧度，檢測(cè)被測(cè)離軸非球面上被選擇的圓形區(qū)域，得到檢測(cè)結(jié)果，記錄此時(shí)的檢測(cè)結(jié)果的zernike系數(shù)中的傾斜(z2v′、z3v′)，慧差(z7v′、z8v′)系數(shù)。

3.如權(quán)利要求1所述的一種離軸非球面的調(diào)整方法，其特征在于，所述矩陣方程為：

z2x′×x/Δx+z2y′×y/Δy+z2u′×u/Δu+z2v′×v/Δv＝z2′

z3x′×x/Δx+z3y′×y/Δy+z3u′×u/Δu+z3v′×v/Δv＝z3′

z7x′×x/Δx+z7y′×y/Δy+z7u′×u/Δu+z7v′×v/Δv＝z7′z8x′×x/Δx+z8y′×y/Δy+z8u′×u/Δu+z8v′×v/Δv＝z8′

其中，所述z2′，z3′，z7′，z8′分別為被測(cè)非球面任意不在理論檢測(cè)位置檢測(cè)離軸非球面上選擇的圓形區(qū)域內(nèi)非球面面形，所得到的傾斜(z2′、z3′)以及慧差(z7′、z8′)系數(shù)；

所述x、y、u、v分別為將非球面調(diào)回理論檢測(cè)位置時(shí)調(diào)整機(jī)構(gòu)X、Y方向平移，繞X軸旋轉(zhuǎn)以及繞Y軸旋轉(zhuǎn)自由度的調(diào)整量。

4.如權(quán)利要求3所述的一種離軸非球面的調(diào)整方法，其特征在于，所述步驟S5，解矩陣方程，得到將離軸非球面平移到理想位置所需的調(diào)整量,具體為：將z2′、z3′、z7′、z8′帶入所述矩陣方程中解出x、y、u、v，得到從被測(cè)非球面目前的非理論檢測(cè)位置將其調(diào)回理論檢測(cè)位置所需要的X、Y方向平移，繞X軸旋轉(zhuǎn)以及繞Y軸旋轉(zhuǎn)自由度的調(diào)整量。

5.如權(quán)利要求1所述的一種離軸非球面的調(diào)整方法，其特征在于，所述步驟S1，安裝離軸非球面，并在離軸非球面上選擇一圓形區(qū)域，具體為：安裝離軸非球面，以離軸非球面的中心為中心，在離軸非球面上選擇一圓形區(qū)域。

6.如權(quán)利要求1所述的一種離軸非球面的調(diào)整方法，其特征在于，所述離軸非球面的位置的調(diào)整是通過(guò)調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整。

7.如權(quán)利要求1所述的一種離軸非球面的調(diào)整方法，其特征在于，所述離軸非球面平移后的位置通過(guò)干涉儀及補(bǔ)償器系統(tǒng)進(jìn)行檢測(cè)。

8.如權(quán)利要求1所述的一種離軸非球面的調(diào)整方法，其特征在于，所述離軸非球面被安裝在檢測(cè)支撐板上。