[發(fā)明專利]法布里?珀羅濾光片的制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611192376.2
• 申請(qǐng)日: 2016-12-21
• 公開（公告）號(hào): CN106772749A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盛斌;羅露雯;陳國(guó)華;黃元申
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海理工大學(xué)
• 主分類號(hào): G02B5/28
• 分類號(hào): G02B5/28
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司31001
• 代理人: 吳寶根

1.一種法布里-珀羅濾光片的制備方法，其特征在于，具體包括如下步驟：

1）在K9玻璃基片上通過磁控濺射鍍膜方式獲得下層高反射膜系以及等厚均勻的中間腔層；

2）對(duì)中間腔層材料的刻蝕速率進(jìn)行標(biāo)定，計(jì)算出該材料在離子束刻蝕下的刻蝕速率；

3）定制離子束無法穿透的陶瓷擋板，且該擋板中間開有三角形窗口；將步驟1）的樣品和擋板平行放置，中間腔層面對(duì)離子源，擋板位于離子源和樣品之間，且三角形頂點(diǎn)與樣品頂部等高對(duì)齊，離子束經(jīng)三角形窗口垂直入射到樣品上，樣品在樣品臺(tái)的帶動(dòng)下在水平方向來回勻速運(yùn)動(dòng)，刻蝕出具有所需斜率的楔形中間腔層；

4）再將樣品順時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度，重復(fù)步驟3）所述刻蝕，在楔形中間腔層上進(jìn)行二次刻蝕，最終得到二維方向上厚度連續(xù)變化的中間腔層；

5）在所制得二維方向上厚度連續(xù)變化的中間腔層表面上鍍制等厚的上層高反射膜系，完成整個(gè)濾光片的制備。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述法布里-珀羅濾光片的制備方法，其特征在于，所述步驟4）所得二維方向上厚度連續(xù)變化的中間腔層上有一條條相同厚度構(gòu)成的等高線分布，在平行于等高線的方向?yàn)V光片有最小的線色散率，在垂直于等高線的方向?yàn)V光片有最大的線色散率。