[發明專利]高錳含量鋁錳合金靶材的制造方法

在審

• 申請號: 201611192261.3
• 申請日: 2016-12-21
• 公開（公告）號: CN106835033A
• 公開（公告）日: 2017-06-13
• 發明（設計）人: 劉樹峰;鄭天倉;孫良成;劉小魚;魯飛;李靜雅;張志宏;白洋;邢正茂;李慧
• 申請（專利權）人: 包頭稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料國家工程研究中心有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C22C21/00
• 代理公司: 北京康盛知識產權代理有限公司11331
• 代理人: 張良

1.一種高錳含量鋁錳合金靶材的制造方法，包括：

制取粉料，粉料化學組分的質量百分比為：鋁50～75％，錳25～50％；

稱取成型粉料裝入模具中，放入熱壓燒結爐經熱壓燒結得到鋁錳合金靶材坯料；

機加工獲得靶材產品。

2.如權利要求1所述高錳含量鋁錳合金靶材的制造方法，其特征在于：粉料采用鋁錳合金粉料或者金屬鋁粉與錳粉的混合物。

3.如權利要求1或者2所述高錳含量鋁錳合金靶材的制造方法，其特征在于：粉料粒度小于50μm。

4.如權利要求1所述高錳含量鋁錳合金靶材的制造方法，其特征在于：將粉料裝入模具中，熱壓燒結前進行預壓緊，壓緊壓力0.1～5MPa。

5.如權利要求1所述高錳含量鋁錳合金靶材的制造方法，其特征在于：熱壓燒結過程中，當熱壓爐內真空度高于1×10^-2Pa時開始升溫，溫度升到350～400℃時保溫0.5～1h；繼續升溫至600～900℃，增加壓力至15～30MPa，保溫保壓1～4小時。

6.如權利要求1所述高錳含量鋁錳合金靶材的制造方法，其特征在于：對鋁錳合金靶材坯料進行表面磨拋及外形加工處理獲得靶材產品。