[發明專利]壓力傳感器的制造方法

在審

• 申請號: 201611190529.X
• 申請日: 2016-12-21
• 公開（公告）號: CN107014548A
• 公開（公告）日: 2017-08-04
• 發明（設計）人: 山岸信貴;山下直樹
• 申請（專利權）人: 長野計器株式會社
• 主分類號: G01L7/08
• 分類號: G01L7/08
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 嚴志軍,劉林華

技術領域

本發明涉及壓力傳感器的制造方法。

背景技術

已知具有安裝于被安裝部件的接頭、以及設于接頭的壓力檢測元件的壓力傳感器。

構成壓力傳感器的接頭和壓力檢測元件通過焊接而相互接合(文獻1：日本特許3556165號公報)。

壓力檢測元件是稱為傳感器模塊的元件，在文獻1中，使壓力檢測元件為金屬制膜片一體于析出硬化類不銹鋼制的筒狀支撐臺的上表面的構成，并將筒狀支撐臺和金屬制的接頭射束焊接。

一直以來，為了制造傳感器模塊，有時進行加熱處理。

例如，存在使用既定的合金通過冷加工對金屬制膜片的本體進行成形，并將該本體加熱到400℃以上且利用化學蒸鍍法形成絕緣膜的壓力傳感器(文獻2：日本特許3084304號公報)。

而且，存在在析出硬化型不銹鋼的未硬化狀態下進行鍛造加工等以對中間成形體進行成形，并對該中間成形體進行加熱處理而形成的壓力傳感器用膜片(文獻3：日本特許3688063號公報)。文獻3的加熱處理由用于釋放在鍛造加工等中產生的加工應變的再固溶化處理、和在再固溶化處理后的冷卻后實施以用于消除加工應變的析出硬化處理構成。

在將進行了熱處理的兩個金屬部件焊接的情況下，焊接部及其周圍的熱處理的效果被初始化，與其他母材部位相比強度、硬度低。因此，若大的壓力施加于焊接的金屬部件，則在強度、硬度低的焊接部及其周圍產生裂紋、破壞。

在文獻1的現有例中，由于將析出硬化類不銹鋼制的筒狀支撐臺和金屬制的接頭射束焊接，故筒狀支撐臺和接頭的焊接部為脆弱部。即使壓力施加于焊接部，由于與使用的壓力范圍對應地選定材料、鉆研焊接方法，故在通常的壓力范圍下是沒有問題的。但是，最近，市場所要求的壓力范圍變得極高，若將文獻1所示的壓力傳感器用在高耐壓范圍下，則存在焊接部及其周圍裂開的風險。

在文獻2中，僅公開了對金屬制膜片的本體進行成形，并將該本體加熱至400℃以上的構成，對本體和接頭的接合沒有公開。根據引用文獻2，雖然能夠設想將加熱的金屬制膜片的本體焊接于接頭，但與文獻1同樣，在用在高耐壓范圍下的情況下，存在焊接部及其周圍裂開的風險。

在文獻3中，僅公開了對中間成形體進行由再固溶化處理和析出硬化處理構成的加熱處理的構成，未公開將進行了該加熱處理的壓力傳感器用膜片接合于接頭的構成。根據引用文獻3，雖然能夠設想將加熱處理的壓力傳感器用膜片焊接于接頭，但與文獻1同樣，在用在高耐壓范圍下的情況下，存在焊接部及其周圍裂開的風險。

發明內容

本發明的目的是提供即使施加較高的壓力，也能夠防止焊接部及其周圍裂開的壓力傳感器的制造方法。

本發明的壓力傳感器的制造方法是制造如下壓力傳感器的方法，所述壓力傳感器具備金屬制的接頭和傳感器模塊用金屬部件，所述接頭安裝于被安裝部件且形成有供被測定流體流通的導入孔，所述傳感器模塊用金屬部件具有設于所述接頭的筒狀部及在所述筒狀部的一端部一體形成的膜片部，且形成有被通過所述導入孔導入被測定流體的凹部，其特征在于，將所述接頭和所述傳感器模塊用金屬部件焊接，之后，對所述接頭和所述傳感器模塊用金屬部件進行加熱處理。

在本發明中，由于在將接頭和傳感器模塊用金屬部件焊接之后進行加熱，故焊接部及其周圍的強度提高。焊接部及其周圍的硬度通過加熱而變高，接近其他部位的硬度。因此，即使被導入傳感器模塊用金屬部件的被測定流體的壓力高，也能夠防止從傳感器模塊用金屬部件和接頭的焊接部及其周圍開裂的情況。

在本發明中，優選為在對所述接頭和所述傳感器模塊用金屬部件進行加熱處理之后，對所述傳感器模塊用金屬部件的膜片部粘貼具有應變計的檢測部的構成。

在該構成中，在對傳感器模塊用金屬部件進行加熱處理之后，在膜片部粘貼具有應變計的檢測部，因而能夠避免應變計自身被加熱所伴隨的測定誤差。

在本發明中，優選為所述加熱處理為在將所述接頭和所述傳感器模塊用金屬部件焊接之后加熱冷卻以使其析出硬化的析出硬化處理的構成。

在該構成中，焊接后的加熱處理只有析出硬化處理，因而制造工序得到簡化。

在本發明中，優選為所述加熱處理具備用于使因焊接而粗大化的組織均等化的再固溶化處理、以及在所述再固溶化處理之后加熱冷卻以析出硬化，從而提高焊接部及其周圍的強度的析出硬化處理的構成。

在該構成中，通過連續進行再固溶化處理和析出硬化處理，焊接部及其周圍的硬度變得與其他部位的硬度大致相同。

附圖說明

圖1是在本發明的一個實施方式中制造的壓力傳感器的側視圖。