[發明專利]一種用于OLED檢測設備的運動平臺

在審

• 申請號: 201611189103.2
• 申請日: 2016-12-21
• 公開（公告）號: CN108214423A
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 陸敏杰
• 申請（專利權）人: 無錫星微科技有限公司
• 主分類號: B25H1/10
• 分類號: B25H1/10;B25H1/14
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 郭云梅

本發明涉及運動平臺技術領域，尤其是一種用于OLED檢測設備的運動平臺，該平臺由上至下機構依次包括：真空吸盤、Z向微調臺，XY方向移動臺、大理石基座，所述Y1永磁直線電機與Y2永磁直線電機一側均設置有Y向機械緩沖器，所述X永磁直線電機一側設置有X向機械緩沖器，其中Z向微調臺包括Z向永磁直線電機、Z向機構、Z向平衡彈簧與Z向載物臺，所述Z向載物臺一側設置有楔形塊，所述Z向微調臺安裝有柔性彈片，簡化了垂向的機構設計，減少了Z軸運動過程中的直線度誤差。本發能夠明保證載物臺面在XY的整個運動行程內的垂向準確性，其在檢測行程范圍內載物臺的平面度誤差要小于1um，且具有緊湊、精密、高響應的特點。

技術領域

本發明涉及運動平臺技術領域，尤其涉及一種用于OLED檢測設備的運動平臺。

背景技術

檢測設備運動平臺屬于大行程、高精密平臺，該系列平臺是集精密機械、高精密測量、運動控制等多項技術于一體的復雜系統，運動平臺可將一個大面積的待檢測物分解為多個視場累加檢測，通過控制運動臺對OLED面板完成大面積的檢測，平臺的定位精度、平面度誤差以及運行的勻速性決定了設備的檢測精度，步進及運行速度決定設備的產率。

現有技術采用的是一種XY方向均采用機械導軌加永磁直線電機的驅動方式，Y向兩套驅動裝置安裝于大理石基座兩側，X向平臺安裝于Y向的Y1與Y2運動機構上?，F有平臺全行程內的平面度誤差一般都只能做到5-10um，并且需要高精度的機械加工件，以及繁瑣的安裝來保證。因此，有必要設計一款安裝簡單且平臺有效行程范圍內平面度達到1um左右的高精度運動平臺。

現有技術的Z向調整臺采用在龍門橫梁上垂直XY平面安裝伺服電機加滾珠絲桿平臺來實現微調。該驅動形式體積較大，調整精度低，動態響應慢、特性較差。因此，有必要設計一款滿足設備需求的緊湊、精密、高響應特點的Z向調整臺。

發明內容

本發明的目的是為了解決現有技術中存在動態響應慢、特性較差的缺點，而提出的一種用于OLED檢測設備的運動平臺。

為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：

設計一種用于OLED檢測設備的運動平臺，該平臺由上至下機構依次包括：真空吸盤、Z向微調臺，XY方向移動臺、大理石基座，XY方向移動臺由三套相互獨立的Y方向上平行的Y1永磁直線電機、Y2永磁直線電機和X永磁直線電機，所述Y1永磁直線電機與Y2永磁直線電機一側均設置有Y向機械緩沖器，所述X永磁直線電機一側設置有X向機械緩沖器，其中Z向微調臺包括Z向永磁直線電機、Z向機構、Z向平衡彈簧與Z向載物臺，所述Z向載物臺一側設置有楔形塊，所述Z向微調臺安裝有柔性彈片，簡化了垂向的機構設計，減少了Z軸運動過程中的直線度誤差。

優選的，所述Z向機構安裝有兩組機械導軌單元，所述機械導軌單元包括Z1向機械導軌與Z2向機械導軌，其中Z1向機械導軌用于楔形塊與底板連接，另外一組Z2向機械導軌用于楔形塊與Z向載物臺連接。

優選的，所述Z向載物臺通過柔性彈片與Z向機構的底板連接。

優選的，Z向機構的所述底板上安裝有Z向永磁直線電機定子，且Z向永磁直線電機定子設置在Z向永磁直線電機上，楔形塊上安裝有Z向永磁直線電機動子。

優選的，所述Z向載物臺下端面與Z向機構的底板之間安裝有Z向平衡彈簧，此Z向平衡彈簧可補償Z向載物臺與所述真空吸盤的重量。

優選的，所述Z向機構內設置有光柵尺，所述Z向機構中的光柵尺安裝于Z向機構的楔形塊上，所述底板上還設置有讀數頭。

優選的，Y向的導向機構為兩套高精密的滾柱導軌，且滾柱導軌分別安裝于大理石基座Y向的兩側。