[發明專利]鋁靶材制作方法

有效

• 申請號: 201611185638.2
• 申請日: 2016-12-20
• 公開（公告）號: CN108202292B
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學澤;曹歡歡
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B24C1/08
• 分類號: B24C1/08;C23C14/22
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 高靜;吳敏

1.一種鋁靶材的制作方法，其特征在于，包括：

形成鋁板；形成所述鋁板的步驟包括：提供金屬料件，所述金屬料件為鋁；對所述金屬料件進行鍛打，制作成鋁錠；對所述鋁錠進行壓延，制作成所述鋁板；

對所述鋁板進行噴砂；所述噴砂采用的是白剛玉粒度砂；所述噴砂的噴砂壓力在3千克/平方厘米～5千克/平方厘米的范圍內；

將噴砂后的鋁板制作成鋁靶材；

將噴砂后的鋁板制作成鋁靶材的步驟中，所述制作方法還包括：將噴砂后的鋁板放入沖床模具中，通過沖壓落料形成鋁方片，對所述鋁方片進行酸洗；

所述酸洗的步驟包括：

將所述鋁方片放入航空煤油中浸泡，進行第一清洗；

第一清洗之后，將所述鋁方片移至異丙醇溶液，進行第二清洗；

第二清洗之后，通過酸液對所述鋁方片進行第三清洗；

通過純水清洗所述鋁方片，去除酸液殘留；

對所述鋁方片進行真空干燥，得到鋁靶材；

所述酸液為硝酸與氫氟酸的混合酸，其中硝酸質量比為15％～20％，氫氟酸質量比為1％～3％；酸洗時間為3分鐘～5分鐘。

2.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，在進行所述噴砂之后，所述制作方法還包括：將所述噴砂后的鋁板置于異丙醇溶液或純水中進行噴砂后清洗。

3.如權利要求2所述的制作方法，其特征在于，進行所述噴砂后清洗的過程中采用超聲波振蕩9分鐘～11分鐘。

4.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，在進行所述酸洗的步驟中，將所述鋁方片放置在滾筒中進行所述第一清洗、所述第二清洗及所述第三清洗；進行所述第一清洗及第二清洗的步驟中，所述滾筒保持靜止；進行所述第三清洗的步驟中，使所述滾筒保持滾動。

5.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，在進行所述第一清洗、所述第二清洗及所述純水清洗的步驟中，對所述鋁方片進行超聲波振蕩。

6.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，在所述第一清洗的步驟中，進行超聲波振蕩的時間為10分鐘～20分鐘；在所述第二清洗的步驟中，進行超聲波振蕩的時間為5分鐘～15分鐘；在所述純水清洗的步驟中，進行超聲波振蕩的時間為5分鐘～10分鐘。

7.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述真空干燥的真空度為0.01帕斯卡～0.03帕斯卡，溫度為60攝氏度～80攝氏度，干燥時間為50分鐘～70分鐘。

8.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，將酸洗后的鋁方片放置于無塵室中進行清洗處理、干燥及包裝。

9.如權利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述清洗處理、干燥及包裝的步驟包括：

將所述鋁方片置于異丙醇溶液中進行清洗處理；

將清洗處理后的所述鋁方片進行干燥；

將干燥后的所述鋁方片進行包裝。

10.如權利要求8所述的制作方法，其特征在于，進行所述清洗處理時采用超聲波振蕩5分鐘～15分鐘。

11.如權利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述干燥的步驟包括：將清洗處理后的所述鋁方片置于真空干燥箱內，所述真空干燥箱的真空度為0.01帕斯卡～0.03帕斯卡，溫度為60攝氏度～80攝氏度，干燥時間為50分鐘～70分鐘。

12.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述鍛打的步驟包括：

對所述金屬料件進行鍛打預熱；

對預熱后的金屬料件進行鍛打成型，制作成鋁錠；

將所述鋁錠進行冷卻處理。

13.如權利要求12所述的制作方法，其特征在于，所述鍛打預熱的預定溫度范圍在250攝氏度～350攝氏度。