[發明專利]柔性顯示面板的制作方法有效
| 申請號: | 201611184973.0 | 申請日: | 2016-12-20 |
| 公開(公告)號: | CN106653812B | 公開(公告)日: | 2019-10-11 |
| 發明(設計)人: | 秦芳 | 申請(專利權)人: | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/32 | 分類號: | H01L27/32 |
| 代理公司: | 深圳市德力知識產權代理事務所 44265 | 代理人: | 林才桂;聞盼盼 |
| 地址: | 430070 湖北省武漢市*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 柔性 顯示 面板 制作方法 | ||
本發明提供一種柔性顯示面板的制作方法,通過在剛性基板上形成凹槽,在所述凹槽內形成柔性襯底,在所述柔性襯底與剛性基板上制作顯示器件層后,得到柔性顯示母板,之后采用普通刀輪沿凹槽的邊緣對柔性顯示母板進行切割,得到柔性基板單元,通過激光剝離去除柔性基板單元中的剛性基板后即得到柔性顯示面板,該方法節省了激光切割設備的購置成本,從而降低了柔性顯示面板的制造成本,同時提高了采用普通刀輪切割柔性顯示母板的切割良率,提高了切割柔性顯示母板的刀輪的使用壽命,另外,還減少了制作柔性襯底的有機材料的使用量,進一步降低生產成本。
技術領域
本發明涉及顯示技術領域,尤其涉及一種柔性顯示面板的制作方法。
背景技術
有機發光二極管顯示裝置(Organic Light Emitting Display,OLED)具有自發光、驅動電壓低、發光效率高、響應時間短、清晰度與對比度高、近180°視角、使用溫度范圍寬,可實現柔性顯示與大面積全色顯示等諸多優點,被業界公認為是最有發展潛力的顯示裝置。
OLED按照驅動方式可以分為無源矩陣型OLED(Passive Matrix OLED,PMOLED)和有源矩陣型OLED(Active Matrix OLED,AMOLED)兩大類,即直接尋址和薄膜晶體管矩陣尋址兩類。其中,AMOLED具有呈陣列式排布的像素,屬于主動顯示類型,發光效能高,通常用作高清晰度的大尺寸顯示裝置。
OLED器件通常包括:基板、設于基板上的陽極、設于陽極上的空穴注入層、設于空穴注入層上的空穴傳輸層、設于空穴傳輸層上的發光層、設于發光層上的電子傳輸層、設于電子傳輸層上的電子注入層、及設于電子注入層上的陰極。OLED器件的發光原理為半導體材料和有機發光材料在電場驅動下,通過載流子注入和復合導致發光。具體的,OLED器件通常采用氧化銦錫(ITO)電極和金屬電極分別作為器件的陽極和陰極,在一定電壓驅動下,電子和空穴分別從陰極和陽極注入到電子傳輸層和空穴傳輸層,電子和空穴分別經過電子傳輸層和空穴傳輸層遷移到發光層,并在發光層中相遇,形成激子并使發光分子激發,后者經過輻射弛豫而發出可見光。
基于OLED的平板顯示及照明領域近年來受到科研和學術界的廣泛關注。尤其是最近幾年以來,具有廣闊前景的柔性OLED顯示面板已經嶄露頭角,成為各大面板廠商競爭的焦點。
目前主流的柔性OLED顯示面板的制作方法是:以玻璃基板為載體,在整面玻璃基板上涂布一層聚酰亞胺(PI)膜,對PI膜進行固化,PI膜充當柔性基板,然后從PI膜往上依次制作薄膜晶體管層、OLED器件層和薄膜封裝層,如此即制得柔性OLED顯示母板。通過切割將柔性OLED顯示母板制作成各柔性OLED顯示面板,因玻璃基板上附著有整面的PI膜,所以不容易通過普通刀輪切割實現,使用普通刀輪進行切割時,容易出現切割良率低、刀輪使用周期短等問題,因此需要購買昂貴的激光切割設備對柔性OLED顯示母板進行切割,切割完成后通過激光剝離(Laser lift off,LLO)機臺將PI膜與玻璃基板分離,即得到柔性OLED顯示面板。但是,上述制程中使用的激光切割設備價格昂貴且能量均一性需要進行嚴格控制,因此增加了制造成本。
發明內容
本發明的目的在于提供一種柔性顯示面板的制作方法,能夠節省激光切割設備的購置成本,從而降低柔性顯示面板的制造成本,同時提高采用普通刀輪切割柔性顯示母板的切割良率,提高切割柔性顯示母板的刀輪的使用壽命。
為實現上述目的,本發明提供一種柔性顯示面板的制作方法,包括如下步驟:
步驟1、提供一剛性基板,在所述剛性基板上形成間隔設置的數個凹槽;
步驟2、在所述數個凹槽中分別形成數個柔性襯底;
步驟3、在所述剛性基板與數個柔性襯底上制作顯示器件層,得到柔性顯示母板;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





