[發明專利]一種透射光柵有效
| 申請號： | 201611184567.4 | 申請日： | 2016-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN106597588B | 公開（公告）日： | 2019-10-18 |
| 發明（設計）人： | 史麗娜;李海亮;劉子維;浦探超;牛潔斌;謝常青;劉明 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京華沛德權律師事務所 11302 | 代理人： | 房德權 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 透射 光柵 | ||
【權利要求書】：
1.一種透射光柵，其特征在于，所述透射光柵包括：不透光薄膜及N個透光狹縫；其中，
所述N個透光狹縫在所述不透光薄膜上呈周期分布，且所述透光狹縫的大小與所述狹縫的分布周期之間具有預設的比例；所述狹縫沿所述光柵的y軸方向呈之字形；
所述狹縫沿x軸方向的分布周期為Px，所述狹縫沿y軸方向的分布周期為Py；所述狹縫平行于x軸的寬度a與所述Px之間的比例關系為a＝Px/2；所述狹縫的之字形相鄰的兩個轉折角的頂點在x軸的投影b與所述Px之間的比例關系為b＝Px/6。
2.如權利要求1所述的透射光柵，其特征在于，所述狹縫沿y軸方向的分布周期Py為0.1Px≤Py≤100Px。
3.如權利要求1所述的透射光柵，其特征在于，所述透射光柵在ξ方向的的相對衍射效率I(m)根據公式I(m)＝[sinc(ma/Px)-sinc(m(a-b)/Px)]2計算得出；其中，所述m為衍射級次。
4.如權利要求1所述的透射光柵，其特征在于，所述不透光薄膜的材料具體包括：金、銀、鋁、鉻、硅、氮化硅或碳化硅。
5.如權利要求4所述的透射光柵，其特征在于，所述不透光薄膜的厚度為50～5000nm。
6.如權利要求4所述的透射光柵，其特征在于，所述不透光薄膜的厚度為70～150nm。
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