[發(fā)明專利]提高顯示面板制程良率的結(jié)構(gòu)有效
申請?zhí)枺?/td> | 201611183909.0 | 申請日: | 2016-12-20 |
公開(公告)號: | CN106783919B | 公開(公告)日: | 2019-09-17 |
發(fā)明(設(shè)計)人: | 張合靜;葛世民 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳市華星光電技術(shù)有限公司 |
主分類號: | H01L27/32 | 分類號: | H01L27/32;G09F9/33 |
代理公司: | 深圳市銘粵知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44304 | 代理人: | 孫偉峰 |
地址: | 518132 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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摘要: | |||
搜索關(guān)鍵詞: | 提高 顯示 面板 制程良率 結(jié)構(gòu) | ||
一種提高顯示面板制程良率的結(jié)構(gòu),包括設(shè)置在基板上的導(dǎo)線區(qū)彩色濾光片和發(fā)光區(qū)彩色濾光片;其中,發(fā)光區(qū)彩色濾光片包括:從下至上依次設(shè)置在基板上的柵極絕緣層,紅綠藍(lán)色阻,刻蝕阻擋層和鈍化層;導(dǎo)線區(qū)彩色濾光片包括:從上至下依次設(shè)置在基板上的第一金屬層,柵極絕緣層,紅藍(lán)綠色阻,刻蝕阻擋層第二金屬層和鈍化層。本發(fā)明可以有效減小導(dǎo)線間的短路概率,更能有效減小導(dǎo)線由于相互垂直交疊造成的寄生電容,同時還能有效防止色彩濾光片在后續(xù)制程中的氣體滲出問題,保證機發(fā)光二極管(OLED)器件的發(fā)光效率和顯示壽命。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明是關(guān)于一種提高顯示面板制做過程優(yōu)良率的結(jié)構(gòu),具體涉及一種有機面板的氣體滲出結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
有源矩陣有機發(fā)光二極體(AMOLED)顯示屏具有高對比度、廣色域、響應(yīng)速度快等特點。由于有源矩陣有機發(fā)光二極體具自發(fā)光的特色,不需使用背光板,因此比主動式矩陣液晶顯示器(AMLCD)更能夠做得更輕薄甚至柔性。有源矩陣有機發(fā)光二極體顯示器的主要通過特定的薄膜晶體管進行控制調(diào)節(jié)有機發(fā)光二極管(OLED)器件的開關(guān)和亮度,在調(diào)節(jié)三原色的比例之后進行畫面顯示。其中,控制薄膜晶體管往往采用金屬氧化物半導(dǎo)體,其不僅有較高的開態(tài)電流和較低的關(guān)態(tài)電流,還有均勻性和穩(wěn)定性較高的特點。
蒸鍍?yōu)橹鞯挠性淳仃囉袡C發(fā)光二極體制程中,為了降低制程難度以及發(fā)光材料的色度和亮度的惡化不均,通常采用彩色濾光片和白色有機發(fā)光二極管(OLED)的顯示方法。如圖1所示,導(dǎo)線區(qū)彩色濾光片包括設(shè)置在玻璃基板上由下至上依次設(shè)置的第一金屬層(M1)6、柵極絕緣層(GI)5、刻蝕阻擋層(ESL)4、第二金屬層(M2)3、鈍化層(PV)2、紅綠藍(lán)色阻(RGB)1,白色有機發(fā)光二極管顯示裝置背板的彩色濾光片主要在陣列程完成之后進行涂布,即采用傳統(tǒng)的COA技術(shù)。然而,在導(dǎo)線(如銅)制程不太穩(wěn)定情況下(又如鋁在高溫中易產(chǎn)生小丘或絕緣層膜質(zhì)不太穩(wěn)定而出現(xiàn)多孔),面板AA區(qū)內(nèi)導(dǎo)線布局之間垂直跨線的地方容易發(fā)生短路現(xiàn)象。而且,導(dǎo)線與其中間的絕緣層更容易形成寄生電容,在追求大尺寸高分辨的顯示面板中寄生電容的缺點顯得尤為突出。同時,彩色濾光片主要為有機材料,而在完成色彩濾光片的制成后后還有較為復(fù)雜的制程,后續(xù)的制程往往會使色彩濾光片的機材料產(chǎn)生一些雜質(zhì)氣體,導(dǎo)致發(fā)光二極管器件受到破壞,影響顯示壽命和效果。在有源陣列制程中,一方面難免會有兩條導(dǎo)線的重疊,導(dǎo)線跨線(垂直重疊)的地方在制程工藝不穩(wěn)定,如銅導(dǎo)線的新技術(shù)、鋁導(dǎo)線在后續(xù)的制程中會經(jīng)歷相對高溫發(fā)生小丘、絕緣層膜質(zhì)不佳等情況下,容易發(fā)現(xiàn)短路。另一方面,在大尺寸高分辨的顯示器中導(dǎo)線之間的寄生電容往往影響顯示品質(zhì)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有源矩陣有機電致發(fā)光二極管制作過程中面板區(qū)導(dǎo)線垂直跨線的地方容易短路現(xiàn)象,絕緣層容易產(chǎn)生電容,紅綠藍(lán)有機材料產(chǎn)生雜質(zhì)氣體,從而導(dǎo)致有機發(fā)光二極管(OLED)器件受破壞的缺點,設(shè)計一種提高顯示面板制作過程優(yōu)良率的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。
一種提高顯示面板制程良率的結(jié)構(gòu),包括設(shè)置在基板上的導(dǎo)線區(qū)彩色濾光片和發(fā)光區(qū)彩色濾光片;
其中,發(fā)光區(qū)彩色濾光片包括:從下至上依次設(shè)置在基板上的柵極絕緣層,紅綠藍(lán)色阻,刻蝕阻擋層和鈍化層;
導(dǎo)線區(qū)彩色濾光片包括:從下至上依次設(shè)置在基板上的第一金屬層,柵極絕緣層,紅藍(lán)綠色阻,刻蝕阻擋層第二金屬層和鈍化層。
所述的提高顯示面板制程良率的結(jié)構(gòu),其中:發(fā)光區(qū)彩色濾光片中的刻蝕阻擋層延伸包圍所述紅綠藍(lán)色阻。
所述的提高顯示面板制程良率的結(jié)構(gòu),其中:導(dǎo)線區(qū)彩色濾光片中的刻蝕阻擋層延伸包圍所述紅綠藍(lán)色阻。
所述的提高顯示面板制程良率的結(jié)構(gòu),其中:導(dǎo)線區(qū)彩色濾光片的紅綠藍(lán)色阻的厚度與發(fā)光區(qū)內(nèi)色彩濾光片的紅藍(lán)綠色阻厚度一致。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的多個半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點的熱電元件的;包括有熱磁組件的
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