[發(fā)明專利]一種提高ZnO透明導(dǎo)電薄膜附著力的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611180038.7
• 申請日: 2016-12-19
• 公開（公告）號: CN106756799B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 龔麗;劉云珍
• 申請（專利權(quán)）人: 長沙理工大學(xué)
• 主分類號: C23C14/20
• 分類號: C23C14/20;C23C14/35;C23C14/08;C23C28/04;C23C18/12;H01B1/08
• 代理公司: 長沙星耀專利事務(wù)所(普通合伙) 43205
• 代理人: 姜芳蕊

1.一種提高ZnO透明導(dǎo)電薄膜附著力的方法，其特征在于，分別利用射頻磁控濺射技術(shù)和溶膠凝膠法在有機(jī)聚合物襯底和ZnO薄膜之間涂覆MgO薄膜和納米二氧化鈦和碳納米管的混合溶膠薄膜，包括以下步驟：

S1、將摻有Ga₂O₃和Al₂O₃粉末的ZnO陶瓷靶為靶材，室溫下在有機(jī)聚合物襯底上沉積一層ZnO透明導(dǎo)電薄膜；

S2、利用射頻磁控濺射技術(shù)，將MgO均勻濺射在有機(jī)聚合物襯底和ZnO薄膜之間，形成厚度為0.05～0.1μm的鍍膜B；

S3、以納米二氧化鈦和碳納米管的混合溶膠為原料在步驟S2中所得的鍍膜B的表面進(jìn)行涂膜處理，在78～92℃的環(huán)境下，干燥0.3～5h，形成厚度為0.01～0.1μm的鍍膜C，即得。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高ZnO透明導(dǎo)電薄膜附著力的方法，其特征在于，所述步驟S1中Ga₂O₃和Al₂O₃粉末的質(zhì)量比為0.88～1.12:3.2～5。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高ZnO透明導(dǎo)電薄膜附著力的方法，其特征在于，所述步驟S1中的有機(jī)聚合物為聚對苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酩、有機(jī)玻璃或聚萘二甲酸乙二醇酯中的一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高ZnO透明導(dǎo)電薄膜附著力的方法，其特征在于，所述步驟S2中MgO的純度為99.99％以上的MgO。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高ZnO透明導(dǎo)電薄膜附著力的方法，其特征在于，所述步驟S2中射頻磁控濺射技術(shù)工藝參數(shù)為：襯底溫度為室溫，真空度為3.5×10^-3Pa～5.8×10^-3Pa，壓強(qiáng)為0.1～3.0Pa，濺射功率為150～360W，濺射時間為1～100min，靶材與襯底之間的距離保持為5～15cm，整個過程中保證有質(zhì)量比為1～9:0～1的純氬氣和純氧氣的混合氣體通入。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高ZnO透明導(dǎo)電薄膜附著力的方法，其特征在于，所述步驟S3中納米二氧化鈦和碳納米管的混合溶膠的制備方法為：將質(zhì)量比為3.1～4.3:1～1.2的納米二氧化鈦和碳納米管溶于鈦酸正丁酯、乙醇和水的混合溶液中，加入混合溶液總量0.1～0.18倍的硝酸溶液，攪拌均勻即得，其中，混合溶膠中鈦酸正丁酯、乙醇和水的質(zhì)量比為2～3.2:1.6～2.5:0.2～0.4。