[發(fā)明專利]一種用于DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)的高速圖像曝光方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611179384.3
• 申請(qǐng)日: 2016-12-19
• 公開（公告）號(hào): CN106647181B
• 公開（公告）日: 2018-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄒見(jiàn)效;彭超;池文明;徐紅兵;何健
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 電子科技大學(xué)
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 成都行之專利代理事務(wù)所(普通合伙)51220
• 代理人: 溫利平

1.一種用于DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)的高速圖像曝光方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)、設(shè)原始待曝光圖像是一幅分辨率為m×n的一位位圖圖像，數(shù)字微鏡器件DMD的分辨率為r×c；掃描帶圖像預(yù)處理模塊對(duì)原始待曝光圖像進(jìn)行分割,其中，m、n分別表示待曝光圖像的行數(shù)和列數(shù)，r、c分別DMD中微鏡陣列的行數(shù)和列數(shù)；

(1.1)、為處理掃描式曝光工藝中在待刻蝕的基片未完全進(jìn)入和未完全離開DMD視場(chǎng)時(shí)，對(duì)于未進(jìn)入和已離開的部分，DMD需要顯示全黑的情況，將原始m×n的圖像兩側(cè)分別添加r行0，擴(kuò)展為一幅(m+2r)×n的圖像；

(1.2)、再將擴(kuò)展后的圖像分割為大小的掃描帶圖像，若n不是c的整數(shù)倍，則需要對(duì)最后一個(gè)掃描帶補(bǔ)列0，其中，表示n/c向上取整；

(1.3)、將分割后的個(gè)掃描帶圖像的數(shù)據(jù)按照光刻掃描方向依次通過(guò)通信接口發(fā)送到掃描帶圖像存儲(chǔ)模塊；

(2)、掃描帶圖像存儲(chǔ)模塊在存儲(chǔ)器中從基地址D₀開始，向高字節(jié)地址開辟字節(jié)的內(nèi)存空間，再?gòu)幕刂稤₀開始，將接收到的個(gè)掃描帶圖像的數(shù)據(jù)按照掃描方向逐行依次存儲(chǔ)在所開辟的內(nèi)存空間中；

(3)、可變步長(zhǎng)高速實(shí)時(shí)曝光圖像處理模塊從存儲(chǔ)設(shè)備中獲取掃描帶圖像數(shù)據(jù)，根據(jù)可設(shè)置的掃描步長(zhǎng)d和掃描曝光信號(hào)，按照以下步驟進(jìn)行高速實(shí)時(shí)曝光圖像處理；

(3.1)、掃描觸發(fā)子模塊接收工件臺(tái)同步掃描曝光信號(hào)，使高速實(shí)時(shí)曝光圖像拼接動(dòng)作同時(shí)觸發(fā)；

(3.2)、曝光圖像拼接子模塊根據(jù)可設(shè)置的掃描步長(zhǎng)d和DMD掃描曝光圖像計(jì)數(shù)器N的值確定實(shí)時(shí)掃描曝光圖像每次拼接的內(nèi)存地址位置D_t+ND₁d，并將該位置作為圖像刷新子模塊每次拼接操作的起始地址，其中，D_t＝D₀+(t-1)(m+2r)D₁表示第t個(gè)掃描帶圖像在存儲(chǔ)器內(nèi)存中的基地址，t為掃描帶圖像編號(hào)，D₁表示一行DMD掃描曝光圖像數(shù)據(jù)所占用內(nèi)存空間的地址數(shù)；

(3.3)、曝光圖像刷新子模塊從存儲(chǔ)器中高速讀取掃描帶圖像數(shù)據(jù)，從步驟(3.2)中所得的起始位置開始，每次連續(xù)讀取c比特的數(shù)據(jù)，組成DMD曝光圖像的一行，再依次將r行圖像數(shù)據(jù)拼接成一幀新的DMD曝光圖像，并實(shí)時(shí)發(fā)送到基于曝光圖像信息的微鏡陣列控制模塊，用于替換DMD的前一幀曝光圖像，從而生成連續(xù)的DMD高速實(shí)時(shí)曝光圖像序列；

(4)、基于曝光圖像信息的微鏡陣列控制模塊實(shí)時(shí)接收步驟(3)中生成的DMD高速實(shí)時(shí)曝光圖像數(shù)據(jù)，并將圖像數(shù)據(jù)逐行加載到DMD微結(jié)構(gòu)的CMOS存儲(chǔ)器中，等待加載完r行數(shù)據(jù)后，基于曝光圖像信息自動(dòng)控制DMD微鏡陣列快速翻轉(zhuǎn)到正確的位置，使曝光圖像正確顯示在DMD上，從而完成對(duì)DMD實(shí)時(shí)曝光圖像序列的顯示和控制。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)的高速圖像曝光方法，其特征在于，所述的掃描步長(zhǎng)d可設(shè)置為1到r，r表示DMD中微鏡陣列的行數(shù)。