[發(fā)明專利]基板烘烤機(jī)臺(tái)及其烘烤作業(yè)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611179255.4
• 申請(qǐng)日: 2016-12-19
• 公開（公告）號(hào): CN106783684A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃俊欽
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 惠科股份有限公司;重慶惠科金渝光電科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11228
• 代理人: 亓贏

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種控制氣流穩(wěn)定性流動(dòng)的設(shè)計(jì)，特別是涉及一種基板烘烤機(jī)臺(tái)及其烘烤作業(yè)方法。

背景技術(shù)

液晶顯示面板通常是由一彩膜基板(Color Filter，CF)、一薄膜晶體管陣列基板(Thin Film Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)以及一配置于兩基板間的液晶層(Liquid Crystal Layer)所構(gòu)成，其工作原理是通過在兩片玻璃基板上施加驅(qū)動(dòng)電壓來控制液晶層的液晶分子的旋轉(zhuǎn)，將背光模組的光線折射出來產(chǎn)生畫面。而在薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，TFT-LCD)及彩色濾光片的前段制程中，產(chǎn)品在黃光制程(Photo Process)所使用的光阻(Photo-Resist)，經(jīng)過涂布(Coating)后，玻璃表面光阻的溶劑(Solvent)含量頗高，需置入烘箱中，進(jìn)行曝光前預(yù)烤(Pre-Bake)的動(dòng)作。預(yù)烤加熱過程中，玻璃表面會(huì)產(chǎn)生大量的溶劑及光阻的有機(jī)氣體揮發(fā)物，故需對(duì)烘箱設(shè)計(jì)氣體流向系統(tǒng)，降低揮發(fā)物對(duì)制程后續(xù)影響。

以往的干燥方式大致上分為兩種，第一種為利用鼓風(fēng)機(jī)將外部空氣送入干燥裝置內(nèi)，并加熱吸入空氣，以不斷增加熱空氣對(duì)收容于干燥裝置內(nèi)的被干燥物進(jìn)行干燥處理，而第二種為真空干燥。然而以第一種方式進(jìn)行干燥的話會(huì)有三大缺點(diǎn)，第一項(xiàng)缺點(diǎn)為若要將干燥裝置內(nèi)部的被干燥物取出時(shí)，內(nèi)部溫度會(huì)因?yàn)殚_門接觸到外部空氣而使得溫度驟降，進(jìn)而影響到后續(xù)其他被干燥物的干燥效率；第二項(xiàng)缺點(diǎn)為干燥裝置內(nèi)部排氣與進(jìn)氣的設(shè)計(jì)不良導(dǎo)致氣流紊亂，使得揮發(fā)性液體所揮發(fā)出的氣體無法順利地全部排出，而且鼓風(fēng)機(jī)并無單向送氣的設(shè)計(jì)，于是就會(huì)增加當(dāng)揮發(fā)氣體接觸馬達(dá)等機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)造成電弧或是火花，進(jìn)而產(chǎn)生爆炸或起火的可能性；第三項(xiàng)缺點(diǎn)則為部分無法順利排出的揮發(fā)氣體還有可能會(huì)使馬達(dá)等機(jī)械的電極件腐蝕，導(dǎo)致接觸不良。第二種干燥方式也有缺點(diǎn)，一方面由于要制造真空環(huán)境需要具備抽真空的設(shè)備，另一方面還要不斷提供工作氣體例如氮等氣體以進(jìn)行干燥作業(yè)，要達(dá)到上述兩項(xiàng)條件還要多裝設(shè)精密的電子控制設(shè)備，導(dǎo)致利用真空干燥方式成本過于高昂。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的目的在于，提供一種控制氣流穩(wěn)定性流動(dòng)的設(shè)計(jì)，特別是涉及一種基板烘烤機(jī)臺(tái)及其烘烤作業(yè)方法，不僅可以針對(duì)不同揮發(fā)物材料，可做調(diào)節(jié)控制，并且此設(shè)備適用各種不同的揮發(fā)材料的預(yù)干燥爐制程。

本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種基板烘烤機(jī)臺(tái)，包括：一環(huán)狀承載本體，用以覆蓋一基板；一蓋板，設(shè)置于所述環(huán)狀承載本體上，并與所述蓋板定義出一密閉式腔室，其中所述基板的一表面位于所述密閉式腔室內(nèi)；一空氣輸入單元及一抽氣輸出單元，分別設(shè)置于所述密閉式腔室的一輸入端及一輸出端；以及一排氣調(diào)節(jié)抽氣系統(tǒng)，設(shè)置于所述蓋板上方，并連通于所述密閉式腔室，用以將所述基板大量揮發(fā)物的蒸氣氣體給予調(diào)節(jié)排出。

本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。

本發(fā)明的另一目的為一種基板烘烤作業(yè)方法，包括：提供如所述的基板烘烤機(jī)臺(tái)；依據(jù)所述加熱單元，加熱該些基板以產(chǎn)生其揮發(fā)氣體；以及透過所述空氣輸入單元、一抽氣輸出單元及所述排氣調(diào)節(jié)抽氣系統(tǒng)，將所述揮發(fā)氣體給予排出。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述的基板烘烤機(jī)臺(tái)，更包括：一排氣調(diào)節(jié)閥，安裝于所述密閉式腔室上方四周，用以調(diào)節(jié)所述密閉式腔室四周的揮發(fā)物氣體。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述排氣調(diào)節(jié)抽氣系統(tǒng)，更包括：一抽風(fēng)管單元，將該些基板的揮發(fā)氣體導(dǎo)引至抽風(fēng)管線給予排出。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述空氣輸入單元為一干燥潔凈空氣輸入單元。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述抽氣輸出單元為一抽風(fēng)馬達(dá)。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述排氣調(diào)節(jié)抽氣系統(tǒng)具有多個(gè)孔洞，其連通于所述密閉式腔室。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述的基板烘烤機(jī)臺(tái)，更包括：一控制面板單元，用以操作所述機(jī)臺(tái)的加熱、排氣的作業(yè)；以及一加熱單元，用以加熱所述基板，并進(jìn)行所述基板的揮發(fā)作業(yè)。