[發明專利]一種基于石墨烯FP腔的可調諧激光器

在審

• 申請號: 201611178147.5
• 申請日: 2016-12-19
• 公開（公告）號: CN106654852A
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 陸榮國;劉天良;田朝輝;楊忠華;葉勝威;夏瑞杰;張尚劍;劉永
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: H01S5/042
• 分類號: H01S5/042;H01S5/14;H01S5/343
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司51230
• 代理人: 李龍

1.一種基于石墨烯FP腔的可調諧激光器，其特征在于：包括從下至上依次設置的襯底(1)、緩沖層(2)、下光包層(3)、下勢壘層(4)、有源層(5)、上勢壘層(8)、上光包層(9)和歐姆接觸層(10)，下勢壘層(4)上還設置有分別位于有源層(5)兩側的第一光柵(6)和第二光柵(7)；

第一光柵(6)和第二光柵(7)采用硅波導—石墨烯的可調諧波導光柵，所述硅波導—石墨烯的可調諧波導光柵,包括光柵襯底(11)，所述光柵襯底(11)上設置有脊形硅波導，脊形硅波導包括脊區下半部分波導(12)和脊區上半部分矩形波導(24)，脊區下半部分波導(12)覆蓋有包層(13)，脊區下半部分波導(12)上從下至上依次設置有第一隔離介質層(15)、第一石墨烯層(16)、第三隔離介質層(18)、第二石墨烯層(19)、第五隔離介質層(21)，第五隔離介質層(21)上設置脊區上半部分矩形波導(24)；

第一石墨烯層(16)與第二石墨烯層(19)均為叉指電極結構，并通過電極引出，叉指電極結構的叉指(23)等間距周期設置。

2.根據權利要求1所述的基于石墨烯FP腔的可調諧激光器，其特征在于，所述第一光柵(6)和第二光柵(7)有相同的諧振波長，所述第一光柵(6)對第一光柵和第二光柵的諧振波長的光具有高反射性，所述第二光柵(7)對第一光柵和第二光柵的諧振波長具有部分反射特性。

3.根據權利要求1所述的基于石墨烯FP腔的可調諧激光器，其特征在于，所述襯底(1)為n型摻雜硅。

4.根據權利要求1所述的基于石墨烯FP腔的可調諧激光器，其特征在于，所述緩沖層(2)材料為磷化銦或砷化鎵。

5.根據權利要求1所述的基于石墨烯FP腔的可調諧激光器，其特征在于，所述上光包層(9)和下光包層(3)材料為InGaAsP。

6.根據權利要求1所述的基于石墨烯FP腔的可調諧激光器，其特征在于，所述上勢壘層(8)和下勢壘層(4)材料為InP、InGaAsP、InGaAs或GaAs。

7.根據權利要求1所述的基于石墨烯FP腔的可調諧激光器，其特征在于，所述有源層(5)材料為InGaAs量子阱、InGaAs量子點或InGaAsP量子阱。

8.根據權利要求1所述的基于石墨烯FP腔的可調諧激光器，其特征在于，所述歐姆接觸層(10)材料為InGaP或GaAs。

9.根據權利要求1所述的基于石墨烯FP腔的可調諧激光器，其特征在于，叉指電極結構的叉指(23)沿波導光傳輸方向周期分布。