[發明專利]轉印裝置及轉印方法

在審

• 申請號: 201611168237.6
• 申請日: 2016-12-16
• 公開（公告）號: CN106985505A
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 正司和大;梶野一樹;增市干雄
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: B41F16/00
• 分類號: B41F16/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司72003
• 代理人: 崔炳哲

技術領域

本發明涉及一種將兩個板狀體抵接而使被轉印物從一板狀體向另一板狀體轉印的轉印技術。

背景技術

作為在玻璃基板或者半導體基板等板狀體上形成圖案或者薄膜的技術，有一種將兩個板狀體彼此抵接而將承載于一板狀體的主表面的圖案或者薄膜等被轉印物轉印到另一板狀體的技術。其中一個方法是，利用輥(roller)等，對中間夾有被轉印物且接近地對置的兩個板狀體中的一板狀體進行按壓，使兩個板狀體緊貼而轉印被轉印物的方法。

例如，在本申請人先前公開的專利文獻1記載的技術中，承載圖案的橡皮布(blanket)載置于中央部開口的畫框狀的載物臺，并且轉印輥從下部面側按壓面向開口部的橡皮布。由此，橡皮布按壓于與之對置的基板，從而轉印圖案。在該轉印裝置中，用于支撐橡皮布的載物臺能夠進行水平移動，能夠利用該功能實施橡皮布和基板之間的對位(對準)。

專利文獻1：日本特開2014-184716號公報

上述的現有技術中，在支撐載物臺的對準載物臺和基架(base frame)之間設置有用于進行對準的可動機構。另一方面，用于支撐并移動轉印輥的機構安裝于基架。因此，在進行對準調整中載物臺移動時，載物臺和轉印輥之間的相對位置發生變化。本申請的發明人獲得了如下新的見解：隨著對準調整的結果不同，載物臺和轉印輥之間的位置關系不恒定，但是對處理結果的好壞，更具體而言，對重合的兩個板狀體之間的位置精度產生影響。即，即使在對置的兩個板狀體之間進行對位，也有可能在抵接兩者時會發生新的錯位。

在應對這種問題方面，上述現有技術還存在改進的余地。當然，只要進行對準調整中的載物臺的移動量微小就不會產生大問題。但是，為此，當基板、橡皮布等板狀體投入裝置時，需要具有比目前更高的位置精度。這有可能成為裝置、處理的成本上升的原因。

發明內容

本發明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種在用輥構件進行按壓來使兩個板狀體相抵接的轉印裝置中，能夠抑制使事先已對位的兩個板狀體相抵接時產生的錯位的影響的技術。

為實現上述目的，本發明的一實施方式的轉印裝置包括：第一保持單元，將第一板狀體以下部面開放的狀態且以水平姿勢保持；第二保持單元，以保持第二板狀體的周緣部，并且上述第二板狀體的上部面與上述第一板狀體的下部面接近地對置的狀態，且以上述第二板狀體的下部面中的在上部面側與上述第一板狀體對置的中央部開放的狀態，保持上述第二板狀體；按壓單元，具有輥構件和按壓機構，上述輥構件在沿著上述第二板狀體的下部面的軸向上延伸設置，上述按壓機構使上述輥構件一邊與上述第二板狀體的下部面相抵接并使上述第二板狀體按壓于上述第一板狀體，一邊在與上述軸向正交的移動方向上移動；以及對準單元，具有支撐上述第二保持單元和上述按壓單元的基座部，上述基座部在水平方向上移動而使上述第二保持單元和上述按壓單元一體地相對于上述第一保持單元進行相對移動，由此進行上述第一板狀體和上述第二板狀體的對準。

此外，本發明的另一實施方式提供一種使用轉印裝置的轉印方法，上述轉印裝置包括：第一保持單元，將第一板狀體以下部面開放的狀態且以水平姿勢保持；第二保持單元，以保持第二板狀體的周緣部，并且上述第二板狀體的上部面與上述第一板狀體的下部面接近地對置的狀態，且以上述第二板狀體的下部面中的在上部面側與上述第一板狀體對置的中央部開放的狀態，保持上述第二板狀體；按壓單元，具有輥構件和按壓機構，上述輥構件在沿著上述第二板狀體的下部面的軸向上延伸設置，上述按壓機構使上述輥構件與上述第二板狀體的下部面相抵接，并且在與上述軸向正交的移動方向上移動。為實現上述目的，轉印方法包括：支撐上述第二保持單元和上述按壓單元的基座部在水平方向上移動，使得上述第二保持單元和上述按壓單元一體地相對于上述第一保持單元進行相對移動，從而使上述第一板狀體和上述第二板狀體在規定的相對位置進行對位的工序；上述按壓機構使上述輥構件一邊與上述第二板狀體的下部面相抵接并使上述第二板狀體按壓于上述第一板狀體，一邊在上述移動方向上移動，從而使上述第一板狀體和上述第二板狀體緊貼的工序。

依本發明人的見解，當兩個板狀體從接近對置的狀態重合時，兩者最初相抵接的部分的兩者的位置關系對整體的重合位置精度產生很大的影響。即，當兩個板狀體以帶著一定量的錯位的狀態開始抵接時，其錯位會波及到整體。這就意味著確保兩個板狀體最初抵接時的位置精度是非常重要的。