[發(fā)明專(zhuān)利]用于通過(guò)增加材料制造預(yù)定厚度的游絲的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611164474.5
• 申請(qǐng)日: 2016-12-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106997170B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: F·科勒;J-L·比卡耶;O·亨齊克
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 瑞士電子顯微技術(shù)研究與開(kāi)發(fā)中心股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G04D3/00
• 分類(lèi)號(hào): G04D3/00;G04B17/06
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 秘鳳華;吳鵬

本發(fā)明涉及一種用于制造預(yù)定剛度的游絲的方法，其包括以下步驟：制造其尺寸用于獲得有意降低的剛度的游絲；確定在步驟a)中形成的游絲的剛度，以補(bǔ)償為了獲得具有所述預(yù)定剛度所需的尺寸的游絲而需要的缺失的材料厚度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于制造預(yù)定剛度的游絲的方法，更具體地涉及這種游絲：其被用作與預(yù)定慣性的擺輪配合的補(bǔ)償游絲以形成具有預(yù)定頻率的諧振器。

背景技術(shù)

通過(guò)引用并入本申請(qǐng)的歐洲專(zhuān)利1422436中說(shuō)明了如何形成以下補(bǔ)償游絲以用于所述整個(gè)諧振器的熱補(bǔ)償：該補(bǔ)償游絲包括涂覆有二氧化硅的硅芯并與具有預(yù)定慣性的擺輪配合。

這種補(bǔ)償游絲的制造提供了許多優(yōu)點(diǎn)但也有缺陷。事實(shí)上，在硅晶片中蝕刻多個(gè)游絲的工序使同一晶片的游絲之間具有顯著幾何偏差并且在不同時(shí)間蝕刻的兩個(gè)晶片的游絲之間具有更大偏差。此外，以相同蝕刻圖案蝕刻的每個(gè)游絲的剛度都是可變的，從而產(chǎn)生顯著的制造偏差。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一個(gè)目的在于，通過(guò)提出一種用于制造尺寸足夠精確從而不需要進(jìn)一步操作的游絲的方法來(lái)克服全部或部分上述缺陷。

因此，本發(fā)明涉及一種用于制造預(yù)定剛度的游絲的方法，其包括以下步驟：

a)形成尺寸小于獲得預(yù)定剛度的游絲所需的尺寸的游絲；

b)通過(guò)測(cè)量與具有預(yù)定慣性的擺輪耦接的游絲的頻率來(lái)確定在步驟a)中形成的游絲的剛度；

c)基于在步驟b)中確定的游絲剛度的確定來(lái)計(jì)算缺失的材料厚度，以用于獲得預(yù)定剛度的所述游絲；

d)改造在步驟a)中形成的游絲以補(bǔ)償所述缺失的材料厚度，以獲得所述預(yù)定剛度所需的尺寸的游絲(5c)。

因此應(yīng)理解，該方法可保證游絲的非常高的尺寸精度，并且順帶地還保證所述游絲的更精確的剛度。因此，能夠引起步驟a)中的幾何變化的任何制造參數(shù)可針對(duì)每個(gè)所制造的游絲被完全矯正，或針對(duì)在同一時(shí)間形成的全部游絲被平均矯正，由此大幅減小廢品率。

根據(jù)本發(fā)明其它的有利變型：

-在步驟a)中，在步驟a)中形成的游絲的尺寸比獲得預(yù)定剛度的游絲所需的尺寸小1％到20％之間；

-步驟a)是借助深反應(yīng)離子蝕刻或化學(xué)蝕刻實(shí)現(xiàn)的；

-在步驟a)中，在同一晶片中形成尺寸小于獲得具有一種預(yù)定剛度的多個(gè)游絲或具有多種預(yù)定剛度的多個(gè)游絲所需的尺寸的多個(gè)游絲；

-在步驟a)中形成的游絲是由硅、玻璃、陶瓷、金屬或金屬合金制成的；

-步驟b)包括階段b1)：測(cè)量組件的頻率，該組件包括與具有預(yù)定慣性的擺輪耦接的、在步驟a)中形成的游絲，以及階段b2)：從測(cè)得的頻率推導(dǎo)在步驟a)中形成的游絲的剛度；

-根據(jù)第一變型，步驟d)包括階段d1)：在步驟a)中形成的游絲的外表面的一部分上沉積一個(gè)層，以便獲得具有所述預(yù)定剛度所需的尺寸的游絲；

-根據(jù)第二變型，步驟d)包括階段d2)：將在步驟a)中形成的游絲的外表面的一部分的結(jié)構(gòu)改造至預(yù)定深度，以便獲得具有所述預(yù)定剛度所需的尺寸的游絲；

-根據(jù)第三變型，步驟d)包括階段d3)：修改在步驟a)中獲得的游絲的外表面的一部分的組成至預(yù)定深度，以便獲得具有所述預(yù)定剛度所需的尺寸的游絲；

-在步驟d)之后，該方法至少再一次執(zhí)行步驟b)、c)和d)以進(jìn)一步提高尺寸品質(zhì)；

-根據(jù)第一變型，步驟e)包括階段e1)：在預(yù)定剛度的所述游絲的外表面的一部分上沉積一個(gè)層；

-在第二變型中，步驟e)包括階段e2)：將預(yù)定剛度的所述游絲的外表面的一部分的結(jié)構(gòu)修改至預(yù)定深度；