[發(fā)明專利]一種水溶性高分子包覆異型硅溶膠、制備方法及應(yīng)用有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201611157145.8 | 申請日: | 2016-12-15 |
| 公開(公告)號: | CN106590530B | 公開(公告)日: | 2018-07-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 何彥剛;周建偉;王如;高寶紅 | 申請(專利權(quán))人: | 河北工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號: | C09K3/14 | 分類號: | C09K3/14;C08J5/14;C09G1/02 |
| 代理公司: | 天津翰林知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 12210 | 代理人: | 趙鳳英;付長杰 |
| 地址: | 300130 天津市紅橋區(qū)*** | 國省代碼: | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 水溶性高分子 硅溶膠 晶片表面 包覆 制備 原料重量百分比 硅溶膠原料 聚丙烯酸鈉 聚丙烯酰胺 聚丙烯酸 聚多元醇 拋光過程 去離子水 物理結(jié)構(gòu) 不規(guī)則 保護(hù)膜 粗糙度 拋光液 微缺陷 拋光 去除 應(yīng)用 保證 | ||
1.一種水溶性高分子包覆異型硅溶膠,該異型硅溶膠的原料重量百分比組成為:
a、聚多元醇,0.01-1wt%,分子量在200-20000之間;所述聚多元醇為聚乙二醇和/或聚丙二醇;
b、水溶性高分子,0.01-5wt%,分子量在10000-500000之間;所述水溶性高分子為聚丙烯酰胺、聚丙烯酸鈉、聚丙烯酸中的至少一種;
c、硅溶膠原料,5-50wt%;
d、余量為去離子水。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水溶性高分子包覆異型硅溶膠,其特征在于所述硅溶膠原料的平均粒徑為10-150nm,固含量為5-50wt%。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水溶性高分子包覆異型硅溶膠,其特征在于所述水溶性高分子包覆異型硅溶膠的物理結(jié)構(gòu)為兩個或三個球形顆粒或者球形部分結(jié)合在一起的物理結(jié)構(gòu)異型。
4.一種權(quán)利要求1或3任一所述的水溶性高分子包覆異型硅溶膠的制備方法,該方法的步驟是:
1)在30rpm轉(zhuǎn)速以上攪拌下,分別將聚多元醇與水溶性高分子固體粉末完全溶解在去離子水中,分別得到聚多元醇和水溶性高分子的水溶液;
2)在30rpm轉(zhuǎn)速以上攪拌下,將硅溶膠原料逐滴加入到聚多元醇的水溶液中;
3)在30rpm轉(zhuǎn)速以上攪拌下,再向步驟2)得到的溶液中逐滴加入水溶性高分子的水溶液,并持續(xù)攪拌60-80分鐘;
4)將步驟3)得到的溶液用1微米的濾芯過濾,濾去1微米以上大顆粒固相,即得到水溶性高分子包覆的異型硅溶膠。
5.一種藍(lán)寶石襯底拋光液,其特征在于該拋光液采用權(quán)利要求1-4任一所述的水溶性高分子包覆異型硅溶膠作為磨料。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的藍(lán)寶石襯底拋光液,其特征在于該拋光液包括含量為1-50wt%的水溶性高分子包覆異型硅溶膠、含量為0.01-5wt%的氫氧化鉀和余量的去離子水;拋光液的pH值為9.5-12.5。
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