[發明專利]一種晶體硅的線切割的方法

在審

• 申請號: 201611154712.4
• 申請日: 2016-12-14
• 公開（公告）號: CN106738395A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 崔三觀;程正景;楊恒;韓秋生
• 申請（專利權）人: 揚州榮德新能源科技有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司11225
• 代理人: 張皓,師楊

1.一種晶體硅的線切割方法，所述方法通過線切割機進行，并包括以下步驟：

(1)在線砂漿的配制

配制在線砂漿，所述在線砂漿為包含聚乙二醇和碳化硅顆粒的混合砂漿，密度為1.660-1.675kg/L，粘度為220-260mPa·s；

(2)導輪加工

開槽夾角為70-80°，槽深為190±10μm，槽距補償為7-17μm以及V或U型槽的開槽工藝加工所述線切割機的導輪；

(3)晶體硅切割

設定結構線的速度為9.5-15m/s，張力為R/L：25-20N/18-24N，待切割晶體硅的進給速度為0.255-0.500mm/min，所述在線砂漿的流量為110-150kg/min，溫度為17-23℃且砂漿更換系數為0.3-0.4kg在線砂漿/mm進行切割，其中，在切割前依硅塊有效切割長度和砂漿更換系數添加砂漿，即砂漿添加量＝有效切割長度*砂漿更換系數，其中所述砂漿更換系數為0.3-0.4kg在線砂漿/mm。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，步驟(1)中，作為硅片切割液的聚乙二醇的粘度為45-50mPa·s，碳化硅顆粒的粒度為1500#，所述在線砂漿的砂液質量比為1.02。

3.根據權利要求1所述的方法，其中，所述在線砂漿采用80重量％的再生砂漿和20重量％的新砂漿來制備，其中，所述再生砂漿為通過回收系統回收分離的廢舊砂漿，密度為1.660-1.675kg/L，粘度為220-240mpa·s，所述新砂漿為新配制的砂漿，密度為1.660-1.675kg/L，粘度為220-240mpa·s。

4.根據權利要求3所述的方法，其中，配制所述再生砂漿和所述新砂漿所用的切割液包含0-100重量％的回收聚乙二醇。

5.根據權利要求1所述的方法，其中，步驟(3)中，所述結構線的母線的直徑為0.110mm或0.115mm。

6.根據權利要求1所述的方法，其中，步驟(3)中，所述結構線具有垂直正弦波型且為鍍有抗氧化層的結構線。

7.根據權利要求1所述的方法，其中，步驟(3)晶體硅切割的具體過程為：將晶體硅塊粘在光伏玻璃上，然后固定在切割機進給臺上，將結構線依序纏繞至所述線切割機的導輪上，啟動線切割機進行切割直到結束，切割結束后將硅棒升起，提升速度為50-100mm/min，待硅棒完全脫離線網后用專用下棒車將硅棒取下，放在下棒推車上，轉至清洗車間進行清洗處理。

8.根據權利要求7所述的方法，其中，在提升切好的硅棒的過程中遇到線網夾線時，以0.01-0.03m/s的線速走線或剪開線網完成提棒。

9.根據權利要求7所述的方法，其中，所述線切割機開機進行熱機5-10分鐘后，進行切割。