[發明專利]一種氮化鋁生坯的排膠方法及氮化鋁陶瓷基板的制備方法

有效

• 申請號: 201611153910.9
• 申請日: 2016-12-14
• 公開（公告）號: CN106631037B
• 公開（公告）日: 2020-01-21
• 發明（設計）人: 邱基華;童文欣
• 申請（專利權）人: 潮州三環(集團)股份有限公司;南充三環電子有限公司
• 主分類號: C04B35/581
• 分類號: C04B35/581;C04B35/64;C04B35/638
• 代理公司: 44202 廣州三環專利商標代理有限公司
• 代理人: 宋靜娜;郝傳鑫

本發明公開了一種氮化鋁生坯的排膠方法及氮化鋁陶瓷基板的制備方法，一種氮化鋁生坯的排膠方法，所述排膠方法包括以下步驟：(1)將氮化鋁生坯在氮氣氣氛中升溫至290～320℃，然后保溫1～2h；(2)將所述步驟(1)所得的產品在氮氣氣氛中升溫至530～550℃，然后保溫3～5h；(3)將所述步驟(2)所得的產品在氮氣氣氛中降溫至190～210℃，然后保溫1～2h；(4)將所述步驟(3)所得的產品在空氣氣氛中升溫至480～500℃，然后保溫1～2h；(5)自然冷卻。經本發明排膠方法排膠后的產品內部和外部殘碳量均勻，翹曲度≤0.02mm/25.4mm。在燒結后即可直接進入下一道工序，無需對翹曲度進行修正，節約產品制造成本。

技術領域

本發明涉及一種氮化鋁生坯的排膠方法及氮化鋁陶瓷基板的制備方法，尤其涉及一種均一的、舒緩的氮化鋁生坯的排膠方法及氮化鋁陶瓷基板的制備方法。

背景技術

氮化鋁陶瓷燒結前必須經過排膠方法，目前采用的排膠方法基本是在空氣氣氛下進行排膠。在空氣氣氛下排膠時，生坯表面和內部有機物的燃燒速度不同，導致生坯殘碳量存在差異，在裝燒時容易破碎，并且會引起產品翹曲，影響產品的性能和合格率，需要通過后續的工藝對產品翹曲進行修正，方可進入下一步工序，增加成本和周期。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術存在的不足之處而提供一種氮化鋁生坯的排膠方法及氮化鋁陶瓷基板的制備方法，可以有效解決目前產品燒結后產生的翹曲、破碎等問題。

為實現上述目的，本發明采取的技術方案為：一種氮化鋁生坯的排膠方法，所述排膠方法包括以下步驟：

(1)將氮化鋁生坯在氮氣氣氛中升溫至290～320℃，然后保溫1～2h；

(2)將所述步驟(1)所得的產品在氮氣氣氛中升溫至530～550℃，然后保溫3～5h；

(3)將所述步驟(2)所得的產品在氮氣氣氛中降溫至190～210℃，然后保溫1～2h；

(4)將所述步驟(3)所得的產品在空氣氣氛中升溫至480～500℃，然后保溫1～2h；

(5)自然冷卻。

由于生坯的基數大，如果僅在空氣中排膠，單位空間粘合劑分解或者是燒結空氣的發生量大，有可能引起開裂。本發明所述氮化鋁生坯的排膠方法在低溫氣氛爐中進行，步驟(1)～(3)為生坯在氮氣中的排膠，氮氣中排膠由于是通過吸熱反應進行緩慢熱分解，發生量少，是舒緩的排膠。步驟(4)是在空氣中燃燒剩余的少量碳成分的工藝。以最適化的升溫溫度向空氣轉換，可以解決殘碳不均勻和開裂等問題。氮氣的純度為99.9％，氮氣通氣流量為10～20L/min，空氣的通氣流量為10～20L/min。

優選地，所述步驟(1)中升溫的時間為4～6h。

優選地，所述步驟(2)中升溫的過程為3～5h。

優選地，所述步驟(3)中降溫的過程為4～6h。

優選地，所述步驟(4)中升溫的過程為8～10h。

本發明提供了一種氮化鋁陶瓷基板的制備方法，所述制備方法包括以下步驟：

(a)提供氮化鋁生坯；

(b)在氮化鋁生坯表面敷隔粘粉；

(c)將敷好隔粘粉的氮化鋁生坯疊放在一起；

(d)在疊放好的氮化鋁生坯的最上層放置重物，并進行熱處理；

(f)將熱處理后的氮化鋁生坯按上述任一排膠方法進行排膠；

(g)將排膠后所得產品進行燒結，燒結后得到所述氮化鋁陶瓷基板。