[發(fā)明專利]長壽命靶材組件及其形成方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611153514.6
• 申請日: 2016-12-14
• 公開（公告）號: CN108220891A
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學(xué)澤;劉霞
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 徐文欣;吳敏

一種長壽命靶材組件及其形成方法，其中靶材組件包括：靶材，所述靶材具有相對的濺射面和第一表面，所述濺射面為平面，所述濺射面到第一表面具有第一距離；背板，所述背板具有相對的第二表面和背面，所述背板包括貼合區(qū)，所述貼合區(qū)的第二表面和第一表面相貼合，貼合區(qū)第二表面到背面的距離與濺射面到第一表面的距離之和為第二距離，所述第二距離具有預(yù)設(shè)值，所述第一距離為第二距離的25.5％～99.5％。所述靶材組件使得靶材的壽命增加，且使靶材組件的使用難度和制作成本均降低。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種長壽命靶材組件及其形成方法。

背景技術(shù)

通常，現(xiàn)有工藝中的靶材的濺射面為光滑的平面。靶材被使用多次后，靶材的濺射面不再是平面，而是形成多個凹坑。這是由于濺射過程中高能粒子撞擊靶材表面的角度、頻率及能量等有所不同而導(dǎo)致。當(dāng)凹坑繼續(xù)被高能粒子撞擊時，將會導(dǎo)致靶材被擊穿，因此需要及時更換形成有較深凹坑的靶材。被更換的靶材在凹坑處被撞擊掉了部分材料，凹坑周邊的區(qū)域還剩余較多的靶材材料。因此，靶材的使用壽命較短。

為了提高靶材的使用壽命，已有許多設(shè)計在改變靶材的濺射面的形態(tài)。如：將靶材的濺射面設(shè)置為高低起伏的表面。

然而，現(xiàn)有技術(shù)的靶材性能仍然有待提高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的問題是提供一種長壽命靶材組件及其形成方法，以提高靶材的使用壽命，且降低靶材組件的使用難度和制作成本。

為解決上述問題，本發(fā)明提供一種長壽命靶材組件，包括：靶材，所述靶材具有相對的濺射面和第一表面，所述濺射面為平面，所述濺射面到第一表面具有第一距離；背板，所述背板具有相對的第二表面和背面，所述背板包括貼合區(qū)，所述貼合區(qū)的第二表面和第一表面相貼合，貼合區(qū)第二表面到背面的距離與濺射面到第一表面的距離之和為第二距離，所述第二距離具有預(yù)設(shè)值，所述第一距離為第二距離的25.5％～99.5％。

可選的，所述預(yù)設(shè)值為20mm～30mm。

可選的，所述預(yù)設(shè)值為25.4mm。

可選的，所述第一距離為6.477mm～25.273mm。

可選的，所述靶材包括鉭靶材。

可選的，所述背板還包括位于貼合區(qū)周圍的邊緣區(qū)；所述貼合區(qū)的第二表面凸出于所述邊緣區(qū)的第二表面。

可選的，所述貼合區(qū)背板中具有凹槽，所述凹槽的底部表面為部分第二表面，所述凹槽用于容納靶材。

本發(fā)明還提供一種長壽命靶材組件的形成方法，包括：形成靶材，所述靶材具有相對的濺射面和第一表面，所述濺射面為平面，所述濺射面到第一表面具有第一距離；形成背板，所述背板具有相對的第二表面和背面，所述背板包括貼合區(qū)，貼合區(qū)第二表面到背面的距離與濺射面到第一表面的距離之和為第二距離，所述第二距離具有預(yù)設(shè)值，所述第一距離為第二距離的25.5％～99.5％；將第一表面和貼合區(qū)第二表面貼合。

可選的，所述預(yù)設(shè)值為20mm～30mm。

可選的，所述預(yù)設(shè)值為25.4mm。

可選的，所述第一距離為6.477mm～25.273mm。

可選的，所述靶材包括鉭靶材。

可選的，所述背板還包括位于貼合區(qū)周圍的邊緣區(qū)；所述貼合區(qū)的第二表面凸出于所述邊緣區(qū)的第二表面；將所述第一表面和貼合區(qū)第二表面貼合的方法包括：將第一表面和貼合區(qū)第二表面接觸后，將所述靶材和背板焊接在一起。

可選的，所述貼合區(qū)背板中具有凹槽，所述凹槽的底部表面為部分第二表面；將所述第一表面和貼合區(qū)第二表面貼合的方法包括：將所述靶材置于所述凹槽中，所述第一表面和凹槽的底部表面接觸；將所述靶材置于所述凹槽中后，將所述靶材和背板焊接在一起。