[發明專利]用于單晶硅棒的循環水沖洗裝置

在審

• 申請號: 201611147139.4
• 申請日: 2016-12-13
• 公開（公告）號: CN106583308A
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: 梁楓
• 申請（專利權）人: 成都綠迪科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于單晶硅棒的循環水沖洗裝置，其特征在于，所述的裝置包括單晶硅棒固定臺、水泵、儲水箱、設置于單晶硅棒固定臺上方的噴水組件和設置于單晶硅棒固定臺下方的水收集箱，所述的水收集箱通過管道與儲水箱連通，所述的水泵的進水管與儲水箱相連接，所述的水泵的出水管與噴水組件相連接，所述的水收集箱和儲水箱之間的管道中設置有過濾網。

2.根據權利要求1所述的用于單晶硅棒的循環水沖洗裝置，其特征在于，所述的單晶硅棒固定臺為升降式固定臺。

3.根據權利要求2所述的用于單晶硅棒的循環水沖洗裝置，其特征在于，所述的裝置還包括一固定臺支架，所述的固定臺支架上設置有滑軌，所述的滑軌中設置有沿滑軌的高度方向排列的數個通孔，所述的單晶硅棒固定臺的一端設置有一固定銷，所述的固定銷插設于一通孔中。

4.根據權利要求3所述的用于單晶硅棒的循環水沖洗裝置，其特征在于，所述的單晶硅棒固定臺的一端還設置有滾輪，所述的滾輪嵌設于所述的滑軌中。

5.根據權利要求1所述的用于單晶硅棒的循環水沖洗裝置，其特征在于，所述的水收集箱和儲水箱之間的管道中還設置有殺菌片。

6.根據權利要求1所述的用于單晶硅棒的循環水沖洗裝置，其特征在于，所述的單晶硅棒固定臺的表面設置有兩個固定桿，被沖洗的單晶硅棒夾設于所述的兩個固定桿之間。

7.根據權利要求1所述的用于單晶硅棒的循環水沖洗裝置，其特征在于，所述的噴水組件包括噴頭支架、水管和噴頭，所述的水管和噴頭均固定于所述的噴頭支架上，且所述的單晶硅棒固定臺位于所述的噴頭的正下方，所述的水管與所述的水泵的出水管相連接。

8.根據權利要求1所述的用于單晶硅棒的循環水沖洗裝置，其特征在于，所述的水收集箱設置于一高臺上，所述的管道與水收集箱連通的一端高于所述的管道與儲水箱連通的一端。