[發(fā)明專利]一種Ti合金工件防咬死的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611145210.5
• 申請日: 2016-12-13
• 公開（公告）號: CN108611590B
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 沈麗如;陳美艷;金凡亞;陳慶川;許澤金;但敏;祝土富;楊發(fā)展;尹星;趙云華
• 申請（專利權(quán)）人: 核工業(yè)西南物理研究院;成都同創(chuàng)材料表面新技術(shù)工程中心
• 主分類號: C23C14/02
• 分類號: C23C14/02;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/35
• 代理公司: 核工業(yè)專利中心 11007
• 代理人: 高安娜

1.一種Ti合金工件防咬死的方法，其特征在于：步驟一、先用汽油和有機溶劑對Ti合金工件進(jìn)行超聲去油清洗，然后用氬氣吹干；將真空室內(nèi)部所有零件用無水乙醇擦洗后，然后吹干；步驟二、將工件安裝在真空室內(nèi)的工件架上，并使工件能夠在真空室內(nèi)實現(xiàn)公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)；步驟三、關(guān)閉真空室，開始抽真空，當(dāng)真空度優(yōu)于5×10^-2 Pa時，開啟加熱電源進(jìn)行加熱烘烤，直至加熱溫度達(dá)到300℃，同時真空度達(dá)到5.0×10^-3 Pa時，達(dá)到真空室內(nèi)部和真空室內(nèi)部工件除氣的要求，本步驟結(jié)束；步驟四、當(dāng)溫度控制在300℃時，向真空室中充氬氣，真空度控制在0.4-0.6Pa，開啟霍爾離子源電源，功率為1000W；然后再開啟直流疊加脈沖偏壓電源，脈沖偏壓為1000V，占空比為80％；用離子束濺射清洗15分鐘，去除工件表面吸附雜質(zhì)和表面Ti氧化層，并進(jìn)行表面活化；步驟五、真空室內(nèi)的真空度維持不變，開啟Ti電弧靶電源，對工件表面進(jìn)行轟擊清洗，形成混合層；電弧靶電源的電流75A，開啟直流疊加脈沖偏壓電源，脈沖電壓為800V，調(diào)節(jié)占空比為80％，直流電壓為180V，轟擊清洗10分鐘；步驟六、真空室內(nèi)的真空度維持不變，電弧靶電源的電流不變；直流疊加脈沖偏壓電源的脈沖和直流電壓不變，將占空比調(diào)節(jié)為20％，沉積一層Ti作為過渡層，厚度為200nm；步驟七、真空室內(nèi)的真空度維持不變，將氬氣改為氮氣，直流疊加脈沖偏壓電源的脈沖和直流偏壓分別調(diào)節(jié)為600V和60V，占空比調(diào)節(jié)為15％，然后開啟霍爾離子源和中頻磁控濺射電源沉積TiN涂層，厚度為800nm；步驟八、重復(fù)步驟六、步驟七，循環(huán)六次；其中第六個循環(huán)中，TiN制備時間延長；步驟九、鍍膜工藝結(jié)束后，繼續(xù)向真空室中充入氬氣，待工件溫度低于100℃后即可開真空室取工件。

2.如權(quán)利要求1所述的一種Ti合金工件防咬死的方法，其特征在于：所述步驟七中沉積TiN涂層的厚度，針對不同的工件及工作條件需求調(diào)節(jié)涂層厚度。

3.如權(quán)利要求1所述的一種Ti合金工件防咬死的方法，其特征在于：所述第步驟八中，第六次循環(huán)形成的第六層TiN涂層厚度為1μm。