[發(fā)明專利]一種用液體大面積翻轉(zhuǎn)鐵電薄膜極化的裝置及其應(yīng)用

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611145191.6
• 申請日: 2016-12-13
• 公開（公告）號: CN106784298B
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張金星;田瑜
• 申請（專利權(quán)）人: 北京師范大學(xué)
• 主分類號: H01L41/257
• 分類號: H01L41/257
• 代理公司: 北京正理專利代理有限公司 11257
• 代理人: 張文祎;趙曉丹

1.一種用液體大面積翻轉(zhuǎn)鐵電薄膜極化的裝置，其特征在于，所述裝置由信號發(fā)生器、對電極、襯底、形成在襯底上的底電極、形成在底電極上的鐵電薄膜、容器和液體組成；所述對電極、襯底、底電極和鐵電薄膜均放置在容器內(nèi)的液體中；所述底電極通過導(dǎo)線接地，所述底電極與導(dǎo)線連接處不與液體接觸；所述對電極通過導(dǎo)線連接信號發(fā)生器；所述信號發(fā)生器置于容器外。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用液體大面積翻轉(zhuǎn)鐵電薄膜極化的裝置，其特征在于，所述液體為去離子水。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用液體大面積翻轉(zhuǎn)鐵電薄膜極化的裝置，其特征在于，所述鐵電薄膜的制備方法為脈沖激光沉積方法 。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用液體大面積翻轉(zhuǎn)鐵電薄膜極化的裝置，其特征在于，所述對電極為金屬電極。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用液體大面積翻轉(zhuǎn)鐵電薄膜極化的裝置，其特征在于，所述鐵電薄膜為鐵酸鉍，鋯鈦酸鉛，鈦酸鋇，鋰酸鈮，鉭鈮酸鉀，鈦酸鉛或鉭酸鍶鉍。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用液體大面積翻轉(zhuǎn)鐵電薄膜極化的裝置，其特征在于，所述底電極為鑭鍶錳氧，釕酸鍶或鎳酸鑭。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用液體大面積翻轉(zhuǎn)鐵電薄膜極化的裝置，其特征在于，所述襯底為鈦酸鍶或鋁酸鑭。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用液體大面積翻轉(zhuǎn)鐵電薄膜極化的裝置，其特征在于，所述底電極用銀膠與導(dǎo)線相連。

9.如權(quán)利要求1-8任一所述的一種用液體大面積翻轉(zhuǎn)鐵電薄膜極化的裝置的應(yīng)用，其特征在于，所述裝置用于大面積翻轉(zhuǎn)鐵電薄膜極化，包括如下步驟：

1）將對電極、襯底、底電極和鐵電薄膜均放置在液體中；

2）用信號發(fā)生器向?qū)﹄姌O施加與鐵電薄膜面外極化方向相反的電壓；

3）結(jié)束加電，停止信號發(fā)生器上的電壓輸出，取出鐵電薄膜并吹干。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種用液體大面積翻轉(zhuǎn)鐵電薄膜極化的裝置的應(yīng)用，其特征在于，步驟1）中先將底電極通過導(dǎo)線接地，再將對電極、襯底、底電極和鐵電薄膜放置在液體中；步驟2）中所加電壓為大小0-15V，頻率1kHZ-10MHZ的脈沖電壓，施加時間為1-5分鐘。