[發(fā)明專利]移動體裝置、曝光裝置、平板顯示器的制造方法和器件制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611143637.1
• 申請日: 2013-08-05
• 公開（公告）號: CN107015440A
• 公開（公告）日: 2017-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 青木保夫;原篤史
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,黃綸偉

本申請是申請?zhí)枮?01380049848.7(PCT/JP2013/004728)、申請日為2013年8月5日、發(fā)明名稱為“曝光方法、平板顯示器的制造方法和器件制造方法”的中國發(fā)明專利申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及曝光方法、平板顯示器的制造方法和器件制造方法，更具體而言，涉及使圖案保持體相對于能量束而在掃描方向上相對移動的曝光方法、使用所述曝光方法的平板顯示器的制造方法和使用所述曝光方法的器件制造方法。

背景技術(shù)

以往，在制造液晶顯示元件、半導(dǎo)體元件(集成電路等)等電子器件(微型器件)的光刻工序中，使用了如下步進(jìn)-掃描式曝光裝置(所謂掃描步進(jìn)曝光機(jī)(也稱作掃描曝光機(jī)))等：使掩模(光掩模)或掩模板(以下統(tǒng)稱為“掩模”)和玻璃板或晶片(以下統(tǒng)稱為“基板”)沿著規(guī)定的掃描方向(掃描方向)同步移動，并使用能量束將在掩模上形成的圖案轉(zhuǎn)印到基板上。

在這種曝光裝置中，使用了如下掩模臺裝置：通過對吸附保持掩模的端部的框狀的部件(稱作掩模架等)進(jìn)行位置控制，由此進(jìn)行掩模的位置控制(參照例如專利文獻(xiàn)1)。

此處，隨著近年來的基板的大型化，掩模也存在大型化的趨勢。由此，掩模的自重引起的撓曲(或振動)可能給曝光精度帶來影響。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：美國專利申請公開第2008/0030702號說明書

發(fā)明內(nèi)容

用于解決問題的手段

本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，基于第1觀點，成為包含如下步驟的曝光方法：使具有規(guī)定圖案的圖案保持體的上表面與支承部件的下表面相對，其中，該支承部件能夠以非接觸方式從重力方向上側(cè)懸垂支承該圖案保持體；使所述圖案保持體以非接觸方式懸垂支承在所述支承部件上；使能夠保持所述圖案保持體的保持部件保持懸垂支承在所述支承部件上的所述圖案保持體；使用所述保持部件，使所述圖案保持體至少在規(guī)定的2維平面內(nèi)的掃描方向上相對于能量束移動，并且，相對于所述能量束，在所述掃描方向上驅(qū)動曝光對象物體，將所述圖案轉(zhuǎn)印到所述曝光對象物體上；在維持所述支承部件對所述圖案保持體的懸垂支承的狀態(tài)下，解除所述保持部件對所述圖案保持體的保持；使解除了所述保持部件的保持的所述圖案保持體的上表面與所述支承部件的下表面分離。

由此，在圖案保持體相對于能量束相對移動時，其上表面以非接觸方式懸垂支承在支承部件上，因此，抑制了撓曲(或振動)。此外，在圖案保持體懸垂支承于支承部件的狀態(tài)下，進(jìn)行保持部件對圖案保持體的保持及該保持的解除，因此，與將圖案保持體交接給直接保持部件的情況下和從保持部件直接回收圖案保持體的情況相比，圖案保持體的更換動作變得簡單。

根據(jù)第2觀點，本發(fā)明是包含如下步驟的平板顯示器的制造方法：使用本發(fā)明的第1觀點的曝光方法，對所述曝光對象物體進(jìn)行曝光；以及對曝光后的所述曝光對象物體進(jìn)行顯影。

根據(jù)第3觀點，本發(fā)明是包含如下步驟的器件制造方法；使用本發(fā)明的第1觀點的曝光方法，對所述曝光對象物體進(jìn)行曝光；以及，對曝光后的所述曝光對象物體進(jìn)行顯影。

附圖說明

圖1是概略地示出第1實施方式的液晶曝光裝置的結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是液晶曝光裝置的側(cè)面(一部分截面)圖。

圖3是圖1的液晶曝光裝置具有的掩模臺裝置的正面圖。

圖4是圖3的A-A線側(cè)視圖(從上方觀察掩模臺裝置的圖)。

圖5是圖3的B-B線側(cè)視圖(從下方觀察掩模臺裝置的圖)。

圖6中的(A)和(B)是用于說明送入掩模時的掩模裝載裝置的動作的圖(其1和其2)。

圖7中的(A)～(C)是用于說明送入掩模時的掩模臺裝置的動作的圖(其1～其3)。

圖8中的(A)和(B)是用于說明使用第2實施方式的掩模裝載裝置的掩模送入動作的圖(其1和其2)。

圖9中的(A)和(B)是用于說明使用第2實施方式的掩模裝載裝置的掩模送入動作的圖(其3和其4)。

圖10中的(A)和(B)是用于說明使用第2實施方式的掩模裝載裝置的掩模送入動作的圖(其5和其6)。

具體實施方式

《第1實施方式》

以下，基于圖1～圖7(C)，對第1實施方式進(jìn)行說明。